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纳米加工技术;;纳米？;什么是纳米加工？;;当微粒尺寸小于100nm时，会产生许多与宏观状态下不同的特性：;总的来说，物质很多性能会发生改变，从而呈现出既不同于宏观物体，又不同于单个独立原子的奇异现象：熔点降低，蒸汽压升高，活性增大，声、光、电、磁、热、力学等物理性能出现异常。 从一定程度上讲，纳米材料、纳米加工制造技术以及纳米测量技术成为纳米科技发展的三个重要支撑技术。;1.检测技术： 常规的机电测量仪在纳米级检测中，一方面受到分辨率和测量精度的局限，达不到预期精度；另一方面还会损伤元件表面。该技术有两个发展方向：光干涉测量技术和扫描显微测量技术。 这里主要介绍扫描显微测量技术，如扫描隧道显微镜、原子力显微镜、磁力显微镜、激光力显微镜等等。;扫描隧道显微镜的工作原理;纳米加工的关键技术;纳米加工的关键技术;纳米加工的关键技术;2.环境控制 扫描探针显微镜原理上讲比较简单，但是实际上要实现并不容易，需要解决一些关键技术： 振动：一般地面震动是微米量级的，可是要产生稳定隧道电流，间距必须小于1nm，必须严格控制振动。 噪声：产生的电流时纳安级别的，因此必须隔绝电子噪声。 针尖：如果针尖很钝，就不可能探测到单个原子，达不到原子分辨率，所以针尖必须很尖。 样品：样品必须为导体或者半导体，对于不导电的样品，也要在表面覆盖一层导电膜，对该导电膜也有很高的要求。 另外还需要恒温、恒湿、超净环境来进行纳米加工。;3.机床以及工具 纳米加工对机床的要求有： ?高精度，要求机床有高精度进给系统，实现无爬行的纳米级进给；有回转运动时，需要保证有纳米级回转精度。 ?高刚度，要求机床有足够高的刚度，保证工件和工具之间相对位置不受外力作用而改变。 ?高稳定性，要求设备在使用过程中应能长时间保持高精度，抗干扰、抗振动、高耐磨性。;原子排列;纳米加工与器件;纳米算盘;纳米电子器件;碳纳米管;碳纳米管的性能;碳纳米管的应用;（3）微型传感器 由于碳纳米管具有的吸附特性，可以用作气体分子传感器，具有尺寸小、反应快、灵敏度高的特性。 （4）电动机械装置 碳纳米管浸泡于电介质中，随外加电压变化，其长度会发生规律性伸展或收缩。迄今为止没有任何材料具有如此优良的伸缩特性。利用这种特性可以制造人造肌肉纤维，以及未来机器人的运动构件。 （5）储氢 氢气是十分优秀的能源，但是存储困难。碳纳米管是其良好的储存材料，由于其较高的表面积比，丰富的纳米尺寸孔隙，相对活性炭而言须有更大的氢气吸附能力。;（6）锂电池的负极材料 锂离子电池是当前应用最广泛的电池，其性能与电极材料相关，高性能电解材料是获得高性能锂离子电池的基础。碳纳米管的各个性能都十分适合作为锂离子电池的负极材料，有利于改善其放电容量、循环寿命、动力学性能等。 （4）医学领域 医生可以向人体血液里注射碳纳米管潜艇式机器人，用于治疗心脏病。可以修复目前技术无法治愈的微细血管，也可以拍摄人体内部的超声波图像。 ;半导体集成电路;纳米加工技术的应用;纳米级微机械;纳米存储技术;纳米存储技术;纳米生物芯片技术;THE END