常见扫描电子显微镜图像缺陷与解决方法.PDF

2005 年 6 月 湛江师范学院学报 Jun , 2005 　　第 26 卷 第 3 期 JOURNAL OF ZHANJ IANG NORMAL COLLEGE Vol 26 　No 3 常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法 唐晓山 ,屈菊兰 (湛江师范学院 电镜室 ,广东 湛江 524048) 摘 　要 :在论述了荷电效应、损伤、边缘效应这三种常见的扫描电子显微镜图像缺陷的基础上 , 分析了其产生的原因及解决方法 ,并展示了其结果. 关键词 :扫描电子显微镜 ;荷电效应 ;损伤 ;边缘效应 ( ) 中图分类号:Q336 　　文献标识码 :A 　　　文章编号 :1006 - 4702 2005 03 - 0123 - 03 扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像. 它主要反映样品表面的立体形貌. 由于 样品的高低参差、凹凸不平 , 电子束照射到样品上,不同点的作用角不同 ,因此造成激发的二次电 子数不同 ;再由于入射方向的不同 ,二次电子向空间散射的角度和方向也不同 , 因此在样品凸出 部分和面向检测器方向的二次电子就多些 ,而样品凹处和背向检测器方向的二次电子就少一些 ; 总之 ,样品的高低、形状、位置、方向等这些与表面形貌密切相关的性质 ,变成了不同强度的二次 电子信息. 电子束逐点扫描产生不同数量的二次电子,依次在荧光屏上显示出亮暗不同的点 ,也 就是相应的象素. 再由这些象素组成了完整的二次电子图像. 1 　荷电效应 当入射电子作用于样品时 ,从样品上会发出二次 电子,其发射率会随入射电子的加速电压而变化. 图 A 是表示二次电子发射率随入射电子的加速电压变 化的曲线 , 图中横轴 V0 表示入射电子的加速电压 ,纵 σ σ 轴 表示二次电子发射数与入射电子数之比 , 即 = 二次电子发射数入射电子数. 从图 1 中可见 , 只有在 V0 = V01 和 V0 = V02 时 ,σ等于 1 ,即入射电子数与二次 发射电子数相等 ,此时样品既不增加电子也没有失掉 电子,样品不带电. 除此两点外 ,样品会因吸收或失掉 ( 电子而带电. 如果样品不导电 生物样品一般不导 图 1 　二次电子发射随加速电压变化曲线 ) 电 ,此时样品会因吸收电子而带负电 ,就会产生一个 静电场干扰入射电子束和二次电子发射 ,这些会对图像产生严重影响 - 此称荷电效应. 它会对图 像产生一系列的影响 : ①异常反差. 由于荷电效应,二次电子发射受到不规则影响 ,造成图像一部 收稿日期 :2005 - 03 - 13 ( ) 作者简介 :唐晓山 1977 — ,男 ,湖北武汉人 ,湛江师范学院助理实验师 ,从事电镜技术及其在医学中的应用研究. ( ) 124 湛江师范学院学报 自然科学 　　　　 　　　　　　第 26 卷 分异常亮 ,另一部分变暗. ②图像畸形. 由于静电场作用使电子束被不规则地偏转,结果造成图像 地畸变或出现阶段差. ③图像漂移. 由于静电场作用使电子束不规则偏移引起图像的漂移. ④亮 点与亮线. 带电样品常常发生不规则放电 ,结果图像中出现不规则的亮点和亮线. 通过长期、大量的实验 ,我们发现减少荷电效应的方法 : ①导电法. 用金属镀膜、导电染色等 方法使样品本身导电 ,使吸收电子通过样品台流向“地”,从而消除荷电效应. 生物样品几乎都采 用这种方法 ,但不是能完全消除. ②降低电压法. 把加速电压降低 ,使 V0 = V02 , λ= 1 ,入射电子数 与二次电子发射数相等 ,就不产生电荷积累 ,消除荷电效应. 通常使用加速电压为 1～5 kV. 但因 此会使分辨率下降. ③快速观测法. 以