2012白金成-埼玉工业大学.pdf

2015 年度博士論文 カーボンフェルト大気圧マイクロ波プラズマ による金属表面の窒化および チタン表面の酸窒化と生体組織適合機能に関する研究 Study on Surface Nitriding of Metals and Oxynitriding of Titanium for Biocompatibility Using Carbon Felt Atmospheric Pressure Microwave Plasma 2016. 2 白 金成 Jincheng Bai 埼玉工業大学大学院工学研究科応用化学専攻 第 1 章 序論 第 1 章 序論 1.1 プラズマ 1.1.1 プラズマとは 気体原子，分子を適正なエネルギーによって励起すると，電子が放出され，そ れ自身は負電荷を失って正イオンとなる．この現象を電離またはもとの原子・分 子のイオン化という．電離によって生じた電子と正イオンがほぼ等しい密度で 存在し，全体として中性な状態にある状態をプラズマと呼ぶ．物質の状態を低エ ネルギーから高エネルギーの順に並べると，固体，液体，気体，そして，プラズ マとなる．また，プラズマは，化学反応性を有するなど，他の物質状態と違った 特異な性質を示す気体であることから，物質の第 4 状態とも呼ばれている． この様なプラズマは人工的に生じるもののほか，自然界にも存在している．自 然界においては，宇宙の質量の 99 % 以上がプラズマ状態である と言われてい る．太陽風の場合，地球の軌道に達するときのイオンの温度は 10 万度，密度は 1 立方センチあたりイオン 1 個程度である．このため個々の粒子間のクーロン力 による衝突の頻度は無視できるほど小さく，また，ほとんどの場合，プラズマは 磁場を ともなっている．この二つの特徴があいまって宇宙空間のプラズマ中で は，イオンや電子の加速や加熱が頻繁に起き，太陽や惑星を取り巻くプラズマ大 1 第 1 章 序論 気の中に多彩な現象を生みだ している．太陽のフレアーや地球のオーロラがそ の典型的な例である．人工的には，放電，また，レーザー，マイクロ波などの高 周波を照射して気体を電離させることでプラズマが発生する． 1.1.2 プラズマ化学の概要と展望 人類が初めてプラズマを身近に見たのは 17 世紀の後半で，科学的研究の対象 となったのは，18 世紀中頃以降のことである．当初は，摩擦電気による低気圧 放電が観測の対象であったが，18 世紀の末にボルタ電池が発明されるや，大き な電流が得られるばかりか，直列接続によって高い電圧も得られるようになり， 開路アークの観測から大気圧アークの研究が始められた．さらに定常的な低気 圧放電も得られるようになった．放電による“プラズマ” を初めて実現したのは， 電磁誘導，電気分解の法則の発見などで知られる Michael Faraday （英国の化学 者，物理学者，1791.9.22～1867.8.25）である．彼は，1835 年ごろ，低圧気体中で の放電によって発光するかなり広い領域と，発光しない狭くて暗い領域が区別 して観測されることを始めて見いだした 1~3)．その後，1879 年頃，Sir William Crookes （英国の化学者，物理学者，1832.6.17～1919.4.4）はこの放電の性質を詳 1) しく調べて，第4 の物質状態と呼んだ ．さらに，Irving Langmuir （米国の化学 者，物理学者，1881.1.31～1957.8.16）は低圧気体の放電によって形成される