光学元件亚表面缺陷偏振双向反射分布函数-强激光与粒子束.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２１ １ Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１ 　 　 年 月 ， ２００９ １ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊａｎ． ２００９ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００９０１０１３９０４ 　 光学元件亚表面缺陷偏振双向反射分布函数 ， １２ ２ １ 潘永强 ， 吴振森 ， 杭凌侠 　 　 （ 西安工业大学 光电工程学院，西安 ； 西安电子科技大学 理学院，西安 ） １． ７１００３２ ２． ７１００７１ 摘 要： 利用琼斯散射矩阵，借助右手正交基组来表示入射场和散射场，推导出光学元件亚表面缺陷或 　　 　 　 微粒在不同偏振状态下的双向反射分布函数的表达式。给出了亚表面缺陷在不同入射角条件下，不同偏振状 态下的双向反射分布函数与散射方位角之间的关系，以及不同入射角下 偏振入射产生的 偏振双向反射分 ｐ ｐ 布函数的 维散射图。结果表明：偏振入射产生的 偏振双向反射分布函数强烈依赖于入射角、散射角和方 ３ ｐ ｐ 位角，且随着入射角的增加，其最小值点所对应的方位角逐渐减小。 关键词： 亚表面缺陷； 光散射； 偏振双向反射分布函数 　　 　 　 　 中图分类号： Ｏ４８４ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 光学元件的损伤问题已成为高功率固体激光装置研制的核心问题，而紫外光对元件的损伤尤为严重。国 　　 内外研究表明，光学元件在其制造过程中形成的元件表面污染、亚表面缺陷（ ）和微粒是导致损伤的主要根 ＳＳＤ ［ ］ ［ ］ １３ ４６ 源 。光散射是一种非接触测量方法，且便于应用，因此成为光学元件检测的有效方法 。然而，光学元件 同时存在表面粗糙度和亚表面缺陷等问题，使表面微粗糙度引起的光散射影响到亚表面缺陷散射的研究和应 ［］ ７ 用，从而阻止了散射光测试技术的进一步广泛应用。沈健 等人采用蒙卡的方法模拟了偏振光入射时的双向 ［］ 反射分布函数， ８ 等人采用偏振度研究了表面微粗糙度和亚表面缺陷的散