TFT_LCD工艺与静电击穿.docVIP

2012-07-19###############2012-07-19#######2#012-07-19######## TFT- LCD 工艺与静电击穿 李欣欣, 龙春平, 王 威 ( 京东方科技集团股份有限公司, 北京 100176 ) 技 术 交 流 摘 要: 薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor- liquid crystal display, T FT - LCD) 的制造工艺 是一个复杂的过程, 各个环节都可能发生静电击穿 (electrostatic discharge , ESD) 现象, 导致 T FT - LCD 器件被破坏, 极大地影响了良品率。本文根据薄膜晶体管( T FT )生产工艺的实际情 况, 阐述了产线里各类产品型号的 ESD 发生状况。在此基础上, 对各种设计、工艺过程和工艺参 数对 ESD 造成的影响进行了分析研究, 为实际的生产提供了指导作用。 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器; 静电击穿; 电场强度 中图分类号: TN873 文献标识码: B TFT- LCD P roce s s a nd ES D LI Xin- xin, LONG Chung- ping WANG We i (Be ijin Orie nt Ele ctronics Group Co.,Ltd, Be ijing 100176,C