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维普资讯压电式移相器的研究一陈道炯杨旭霞单世宝等压电式移相器的研究陈道炯杨旭霞单世宝宫赤坤陈磊上海理工大学上海南京理工大学南京摘要对压电式移相器进行了研究设计了具有放大特性的柔性铰链式移相器采用了神经网络自适应控制方法改善了非线性降低了环境干扰的影响提高了压电式移相器的性能关键词压电陶瓷移相器自适应控制柔性铰链中图分类号文章编号引言泛用于各种现代干涉仪器中移相器是移相干涉移相干涉术仪中的主要部件常用微位移执行器作为移相器经过近年的发展以其优良的测试精度而被广件的末端执行器微位移执行器由驱动元件和
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压 电式移相器的研究~一陈道炯 杨旭霞 单世宝等
压 电式移相器 的研 究
陈道炯 杨旭霞 单世宝 宫赤坤 陈 磊z
1.上海理工大学,上海,200093 2.南京理工大学,南京,210094
摘要:对压电式移相器进行了研究,设计了具有放大特
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