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第卷第期光学精密工程年月文章编号口径反射镜原位检测用静压支撑系统胡海飞赵宏伟刘振宇罗霄张学军中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春吉林大学机械科学与工程学院吉林长春摘要研制了一套用于反射镜原位检测的静压支撑系统以降低超大口径反射镜离线检测的风险提高其制造效率首先推导了单元刚度的解析式确定了其中关键因素然后对支撑单元进行抽样测试结合解析式预测了支撑群组中单元的工作刚度最后通过密封性测试和反射镜原位检测验证了支撑系统的稳定性通过有限元模拟计算了系统的重力卸载面形精度结果表明个单元连组时单元刚
第 卷 第 期 光学精密工程
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