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毕业设计报告
课题:MT99XX测试机的维修报告
系 部: 电气工程系
专 业:机电一体化技术
班 级: 机电121
姓 名: 仝帅
学 号: 23
指导老师: 王志伟
2015.3
目录
摘要 3
第一章 序言 4
1.1测试机的发展 4
1.2测试系统的组成 5
第二章 测试设备的简介 6
2.1测试设备的一般结构 6
2.2测试原理—功能测试简介 8
2.2.1功能性测试 8
2.2.2测试向量 8
2.2.3创建输入信号 9
2.2.4输出信号测试 9
第三章MT99XX测试机简介 10
3.1设备总的信息概括 10
3.1.2主界面的介绍 11
3.1.3 设备基本的结构和功能 12
3.1.4 温度范围 12
3.1.5 导向原理 12
3.1.6 空气加速原理简介 14
3.1.7设备各模块间的连接 14
3.2 BUH的总体框架 15
3.2.1 Loader部分 15
3.2.2 Handler部分 16
3.2.3 Unloader部分 17
3.3 传感器的分布 18
3.3.1 Soak area中温度传感器的分布 18
3.3.2Contact area中温度传感器的分布 19
3.3.3在CUH处的温度传感器分布 20
3.3.4温度传感器号码,分布,控制板一览表 20
3.3.5通信接口 21
3.3.6下图所示的是BUH中的次级模块的代码及分布 22
第四章 测试机故障分析 24
4.1分选机常见异常的分析 24
4.2分选机常见故障的排除 26
4.3分选机常见部位的调节 34
4.3.1Vacuum CC的Body stopper高度的调节 34
4.3.2Singulator的调节 35
第五章 设备维修保养分析 36
总结 37
MT99测试机的维修报告
摘要:
随着我国集成电路产业的飞速发展,集成电路测试和服务在产业链中的作用将越来越大.专业化的集成电路测试业是集成电路产业中一个重要组成部分,从产品设计开始至完成加工全过程,提供给客户的产品是否合格就是通过测试完成的.在当今集成电路产业中,由于专用测试仪的局限性、非标准性以及专用测试仪开发的周期过长的问题,使得专用测试仪的使用受到了较大的限制.而通用测试仪以它的通用性、标准性、便捷性以及开放性迅速成为了集成电路测试行业的主流。
关键词:MT99XX、维修、保养
第一章 序言
1.1测试机的发展
1958年德州仪器公司(TI)研制发明了世界第一块集成电路7400(与非门逻辑电路)以来,便诞生了世界上第一台集成电路测试机,专用于测试自己产品的IN HOUSE TESTER。同样,世界上第一颗模拟(Analog)集成电路是Fairchild公司的运算放大器741,同时,便诞生了世界上第一台模拟集成电路测试机。
1970年,Fairchild公司推出了世界上第一代成功的商业化的数字集成电路测试机Sentry 7,它采用24位BUS,ECL电路,2MHz的minicomputer,体积庞大,主要性能为:DATA RATE为10MHz,最大测试通道为60PIN;直到1990年为止,先后推出S-10,S-20,S-21等型号,在1970年到1990年这二十年期间,Sentry机器凭借其优良的性能,在测试业界独岭风骚,无任何竞争手。
随着386CPU的出现,集成电路的集成度和工作频率大幅度提高,诞生了第二代集成电路测试机,主要特点为:测试机硬件系统开始采用ASIC,软件系统则引入工作站,用UNIX操作系统。其代表性的机器有法国的SCHLUMBERGER以及TRILLIUM。Sentry公司卖给SCHLUMBERGER后,便推出第二代产品S15及S50,而Sentry公司的部分员工成立TRILLIUM公司,推出50MHz、256PIN的数字测试机,赢得较大的市场,SCHLUMBERGER推出S15、S50失败后,推出先进的ITS9000系统,此系统在软件和硬件上均代表当时的最高水平,软件采用高级的图形界面,测试程序采用模块化结构,硬件系统采用SEQUENCE PER PIN结构(每一PIN均有独立的PMU,TG,VIH,VIL,VOH,VOL及SEQUENCE),此时ITS9000机器独霸市场,TRILLIUM不得已卖给CREDENCE,CREDENCE推出SC212系统,它在软件方面引进ITS9000的优点,在硬件方面采用CMOS电路,向小型化发展,此系统推出后,打败了众多大系统机台。
随着个人计算机及WINDOWS操作系统的广泛普及,如今,出现了第三代数字集成电路测试机,并具备如下特点:采用广泛普及的PC机及WINDOWS操作系统,易学易用,并向智能化发展,硬件系统向小型化、模块化、标准化发展。
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