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电子探针X射线显微分析 （元素分析） 2012-4-25 1 第五节电子探针X射线显微分析 （元素分析） 一、电子探针仪的历史 二、电子探针仪的结构与工作原理 三、波长色散谱仪(WDS) 四、能量色散谱仪(EDS) 五、两种色散谱仪的比较 六、电子探针分析的基本工作方式及应用 电子探针X射线显微分析 电子探针X射线显微分析 一般的化学分析方法仅能得到分析试样的平均成分，而 在电子显微镜上却可实现与微区形貌相对应的微区分 析，因而是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有 用的分析方法。 微区成分分析可直接使用电子探针仪进行。电子探针仪 实际上是在高级扫描电镜的基础上，接装波谱仪、能谱 仪及能损谱仪等成分分析仪而构成的。它专门用于试样 的成分分析，它要求试样表面必须是光滑的。但光滑的 表面对试样的形貌观察不利，所以在材料科学中最为常 用的是在扫描电镜上加装X射线能谱仪，这样既可进行形 貌观察，又能实施成分分析。 电子探针X射线显微分析 电子探针X射线显微分析 电于探针X射线显微分析仪(简称电子探针仪，EPA 或EPMA)，是利用聚焦到很细且被加速到5～30kev的 电子束，轰击用显微镜选定的待分析样品上的某“点” 利用高能电子与固体物质相互作用时所激发出的特征X 射线波长和强度的不同，来确定分析区域中的化学成 分;为微区分析。 利用电子探针可以方便地分析从“Be到U”之间的所 有元素。 电子探针X射线显微分析 电子探针X射线显微分析 分析特点： 手段简化，分析速度快； 成分分析所需样品量很少，且为无损分析方法； 释谱简单且不受元素化合状态的影响； X射线谱仪： 样品被激发的X射线进入谱仪，经弯晶展谱后被接收 并记录下谱线的强度。 分为：波谱仪和能谱仪两类。 电子探针X射线显微分析 电子探针X射线显微分析 图1 JXA-50A电子探针 一、电子探针发展简史 电子探针（Eletron Probe）又名X射线微区分析仪 （X- Ray Micgoanalyser）。 它的设计思想首先由法国的卡斯坦 （Castaing ）在他的 老师格乌尼里（Guiner ）指导下，在1949年于巴黎大学 的毕业博士论文中提出来的。 它的基本原理是用一束聚焦的具有一定能量的电子轰击 样品, 以激发出样品的X射线，然后根据这些X射线的波长 和强度，来鉴定样品中包含的元素种类及其含量,从而为人 们提供了关于试样化学组成的定性和定量二种信息。 电子探针发展简史（2 ） 第一台商品型电子探针由法国卡梅卡 （CAMECA）公司在 卡斯坦的直接指导下于1956年首先制成。在这同一时期， 苏联的洛夫斯基（Lopofckuji）也独立的发展了电子探针 的概念。并装置了一台结构大体类似的仪器。 卡斯坦的第一台探针并不具有电子束扫描的功能，其后 1959年英国的卡斯列特（Cosslett）和邓克姆布 （Duncumt）又将其进一步改进，使其具有在试样表面的 一定面积上扫描的功能。我国从62年开始引进。 二、电子探针仪的结构与工作原理 • 除探测系统外，其他系统 •探测波长：波谱仪。 与扫描电镜一样，常合用一 •探测能量：能谱仪。 套设备。 • 聚焦好的电子束斑在扫描 检测特征X射线的波长和强 线圈的控制下激发样品某处 度是由X射线谱仪（波谱仪 的特征X射线。 或能谱仪）来完成的。 工作原理 工作原理 分析原理