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题目：纳米加工技术 学校：新乡学院 学院：机电工程系 专业：机械设计制造及其自动化 班级：11级2班 学号：110510120** 姓名：张** 指导老师：张国智 纳米加工技术 摘要：纳米加工技术是一门新兴的综合性加工技术。~100nm）尺度的材料制备，以及零件与系统的设计制造测量和控制的相关科学与技术。 纳米级精度的加工和纳米级表层的加工，即原子和分子的去除、搬迁和重组是纳米技术主要内容之一。纳米加工技术担负着支持最新科学技术步的重要使命。国防战略发展的需要和纳米级精度产品高利润市场的吸引，促使了纳米加工技术产生并迅速发展。 前言 随着信息时代的到来，信息高速公路、网络技术、移动通信技术、多媒体技术的飞速发展，促进高集成度、超高速、超高频集成电路及器件研制开发的特征尺寸越来越细，加工尺寸从微米直到纳米尺度。微纳米加工科学技术研究涉及材料科学﹑信息科学﹑物理科学﹑光学﹑生物学﹑和制造科学等。 在宏观研究中所常用的物理量，如弹性模量﹑密度﹑温度﹑压力等，在微观尺度领域可能对其要进行重新定义，我们熟悉的牛顿定律﹑欧几里得几何学热力学﹑电磁学﹑流体力学可能不在适用，而量子效应﹑物质的波动性﹑原子力等微观物理性却有重要的作用。所以，需要纳米、甚至原子层次的微纳米加工技术，以探索材料与器件的新特性。可见，基础科学的研究发展往往需要技术科学提供强有力的支持，要想探索在纳米尺度下物质的变化规律、新的物理性质和器件功能及可能的应用领域，同样离不开相应的技术手段。微纳米加工技术作为当今高技术发展的重要领域之一，是实现功能结构与器件微纳米化的基础。借助微纳米加工技术，人们可以按照需求来设计、制备具有优异性能的纳米材料或纳米结构及器件与装置，发展探测和分析纳米尺度下的物理、化学和生物现象的方法和仪器，准确地表征纳米材料或纳米结构的物性，探索纳米尺度下物质运动的新规律和新现象，去发现现有知识水平未能理解和预测的现象和过程，发展新的纳米材料、功能器件。 目录 一﹑纳米加工方法 1 1.超精密机械加工 1 2.能量束加工技术 1 3.微型机械和微型机电系统 1 4.LIGA工艺 2 5.扫描隧道显微加工技术 2 二﹑纳米加工特点 2 三﹑纳米加工技术的前景 3 3.1材料及制备领域 3 3.2微电子和计算机技术领域 3 3.3医学与健康领域 3 3.4航天和航空领域 4 3.5环境和能源领域 4 3.6生物技术领域 4 3.7国家安全领域 4 四、结束语 4 五﹑参考文献 5 一﹑纳米加工方法 纳米级加工中试件表面的一个个原子或分子成为直接加工的对象，因此纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除。由于原子间的距离为0.1~0.3nm,实际上纳米级加工已经到目前加工精度的极限。通过以下加工技术可以实现纳米级加工。 1.超精密机械加工 超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。 除需要采用新的加工方法或新的加工机理之外,对工件材质,加工设备、工具、测量和环境条件等都有特殊的要求。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。 对环境条件要求严格，须保持恒温、恒湿和空气洁净，并采取有效的防振措施。 电子束加工的基本原理是利用能量密度极高的高速电子细束，在高真空腔体中冲击工件，使材料熔化、蒸发、汽化，而达到加工目的。电子束的加工装置主要由电子枪 真空系统 控制系统 电源系统等四部分所组成。 微型机电系统是指那些外形轮廓尺寸在毫米量级以下，构成元件是微米量级的可控制、可运动的微型机电装置。它是自微电子技术问世以来，人们不断追求高新技术微型化的必然结果 可以利用探针尖端精确操纵原子~106J/cm3。传统的切削﹑磨削加工消耗的的能量密度较小，实际上是利用原子﹑分子或晶体间连接处的缺陷经行加工。用传统切削﹑磨削加工方法进行纳米级加工，要切断原子间的结合是相当困难的。因此直接利用光子﹑电子﹑离子等能量束来加工，必然是纳米加工的主要方向和主要方法。但纳米加工要求达到极高的精度。如何进行有效的控制以达到原子级的去除，是实现原子级加工的关键。 三﹑纳米加工技术的前景 3.1材料及制备领域 材料是纳米科技发展研究一个非常重要的领域，是纳米科技发展的基础。更轻，更强和可设计的材料，长寿命和低维修费的材料，以新原理