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热膜式空气质量流量传感器 1 热膜式空气质量流量传感器的基本原理 1 1.1 传感器的理论基础 1 1.2 传感器的基本工作原理 1 1.3 流量传感器的信号处理 1 1.4 流量计的特点 2 2 热膜式空气质量流量传感器的基本工作原理分析 2 3 测量电桥及其电路原理 3 3.1 测量电桥 4 3.2 测量电桥的电路原理 4 4 传感器的特性分析 5 4.1 静态特性 5 4.2 动态特性 6 4.3 灵敏度 6 4.4 工作温度 6 1 热膜式空气质量流量传感器的基本原理 1.1 传感器的理论基础 热膜式空气流量计传感器属于量热式传感器，根据托马斯(Thomas)提出的“气体的放热量或吸热量与该气体的质量流量成正比”的理论，利用外热源对传感器探头加热，气体流动时会带走一部分热量，使探头温度改变，通过测量因气体流动而造成的温度变化来反映气体的质量流量。 1.2 传感器的基本工作原理 采用热膜式空气质量流量传感器对空气的质量流量进行直接测量。空气流量计中的传感元件是热膜，热膜的电阻值随温度而变化，将其作为桥式测量电路的一部分，通过控制流过热膜的电流，使热膜的温度比空气温度高出一定值，由于进气流经热膜时会对其产生冷却作用，所以，根据由测量桥式电路的加热电流转换得到的电压信号，就可以直接测定发动机的进气质量流量。 1.3 流量传感器的信号处理 热膜式空气质量流量传感器的信号经过控制单元中微处理器的处理，就可计算出发动机每一个工作循环吸入的空气质量。 1.4 流量计的特点 热膜式空气质量流量传感器是能真正测量空气质量流量的一种量热式测量方法，该流量传感器没有机械运动件，能快速反应空气质量流量的变化。 2 热膜式空气质量流量传感器的基本工作原理分析 图1是热膜式空气质量流量传感器的工作原理图。两个热膜电阻、和另外两个固定电阻组成恒温差加热检测电桥，是加热电阻：处于气流的上游，并且远离加热电阻，检测进气空气温度；紧贴加热电阻，检测加热热膜温度。当进气空气温度变化时，电桥发生变化，通过电桥放大器将信号放大，控制通过加热电阻的电流，维持恒温差加热的要求。温差保持在100℃左右比较合适，温差过低会使灵敏度降低，温差过高会使传感器寿命降低、耗电增加。 由具有正温度系数的金属制成的两个热膜传感电阻、和另外两个固定电阻组成空气质量流量温差检测电桥，当有空气流过热膜传感电阻时，由于传热使热量散失，导致热膜传感电阻温度降低，电阻值随之降低，和的变化幅度不同，电桥的平衡被破坏，经电桥放大器放大后，对外输出与空气质量流量成正比的电压信号。 由图1所示的热膜式空气流量传感器的工作原理可推出输出电压和热膜电阻变化的关系表达式。假定，当空气流量为零时，电桥的电源电压为，电桥放大器的放大倍数为，则输出电压为 采用金属铂作为热膜传感电阻时，电阻值足与温度的关系为。当有空气流动时，热膜传感电阻温度降低，电阻值随之降低，两者为正比关系，即。由此，可得输出电压，与热膜电阻温度差的关系式 当气流静止时，的加热热量通过基板导热传至传感电阻和，与空气自然对流换热，达到热平衡，由于和对称分布，传感器输出为零：同时还可抵消环境温度或气流温度变化对输出的影响。当气流流动时，气流与传感电阻的换热以强迫对流的形式为主，处于气流上游的热膜传感电阻温度下降幅度大于处于气流下游的传感电阻的，造成温差，传感电阻。由上述分析可导出输出电压与空气质量流量的关系式： 上式中的是一个与电桥电压、热膜电阻结构、测量通道有效截面积、电桥放大器放大倍数和空气物性参数等有关的常数，也是一个常数。 对于辐射传热，由于和。的温差不会很大，在理论分析中忽略不计。 3 测量电桥及其电路原理 3.1 测量电桥 热膜式空气质量流量传感器电路是一个电桥，见图2。 图中主要电器元件的说明： 1）为测量电阻。两端的电压作为信号电压输出。 2）是铂热电阻，安置在气流中，其特点是： a.具有正温度系数，电阻值随温度升高而增大； b.电路设计成电功率主要消耗在上，所以温度高于环境空气温度。 3）为环境空气温度补偿电阻，用于补偿环境空气温度变化对测试结果的影响。也安置在气流中，它的特点是： a.正温度系数； b.温度系数很高；电阻值很高； c.因为、和之和很大，通过的电流很小(流过的电流一般不超过)，所以所消耗的电功率极低，的温度等于环境空气温度。 4）和为电桥的平衡电阻。 、和的温度系数很低，其阻值可看作常数。满足下式时电桥达到平衡： 3.2 测量电桥的电路原理 这个电路有自动趋于平衡的趋势，即点与点之间的电位差自动趋于零。伴随着电桥的平衡，还发生一个传感电阻热平衡过程。 在环境空气温度保持恒定的情况下，假定在某一气流流量下电桥达到平衡，则铂电阻的温度必然稳定，阻值也不发生变化，点的电位保持不变。这时，。 如果流过传感器的气流增强，增