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基于PSD的一维位移测量系统 0　引言 在某些工业场合中需要对位移进行非接触测量。PSD是 上世纪70年代研制成功的一种新型位置传感器,是一种新型 的能在其感光表面连续移动光点位置的光电传感器,具有很高 的几何分辨率,可以对位移进行精确的非接触测量。当入射光 是一个小光斑照射到光敏面时, PSD输出信号则与光的能量中 心位置有关,而对光斑的形状无严格要求,并可对光斑位置进 行连续测量。PSD具有频谱响应宽、响应速度快、信号处理简 单、便于与微机接口、可以进行非接触测量等优点,在精密尺寸 测量、三维空间位置、机器人定位系统、工业检测和监控、高能 物理实验等领域,具有广泛的应用价值。 该系统实现距离不小于10 m的远距离非接触测量, PSD 传感器是系统的核心,控制系统采集PSD的输出信号对其进行 运算处理后把数据打包通过RS-485接口传给上位机,位移值 在上位机界面上显示出来。 1　一维PSD的工作原理 PSD是一种独特的半导体光电器件,它的PN结结构、工作 状态、光电转换原理等与普通光电二极管类似,但它的工作原 理与普通光电二极管完全不同,后者基于PN结或肖特基结的 纵向光电效应,二极管通过光电流的大小反映入射光的强弱。 而PSD不仅是光电转换器,更重要的是光电流的分配器,通过 合理设置分流层和收集电流的电极,根据各电极上收集到的电 流的比例确定入射光的位置。PSD器件可分为线性(一维)PSD 和面型(二维)PSD,前者可以测定光点的一维位置坐标,后者 可以测定光点在二维平面上的位置坐标。实用的一维PSD器 件由P表面层、N表面层和I中间结构层构成,其中P层是一个 均匀的阻抗层。PSD的横截面如图1所示[1]。 PSD表面P层为感光面,两边各有一信号输出电极1、2。 底层的公共电极3可用来加反偏电压。当入射光点照射到PSD 光敏面上某一点时,假设产生总的光生电流为I0,由于在入射 光点与信号电极之间存在横向电动势,若在2个信号电极上接 上负载电阻,光电流将分别流向2个信号电极,从而在信号电 　 　 　 极上分别得到光电流I1和I2。显然,I1和I2之和等于总的光电 流I0,而I1和I2的分流关系取决于入射光点位置到2个信号电 极间的等效电阻R1和R2。 如果PSD表面层的电阻是均匀的,则PSD的等效电路如图 2(a)所示。由于Rsh很大,而Cj很小,故等效电路图可简化为 图2(b)的形式,其中R1和R2的值取决于入射光点的位置[2]。 假设负载电阻RL的阻值相对于R1和R2可以忽略,则 I1 I2=R2R1=L-xL+x(1) 式中:L为PSD中心点到信号电极间的距离;x为入射光点距 PSD中心点的位移。 式(1)表明, 2个信号电极的输出光电流之比为入射光点 到该电极间距离之比的倒数。将I0=I1+I2代入式(1),可得 I1=I0L-x2L,　I2=I0L+x2L(2) 从式(1)、式(2)可以看出,当入射光点位置固定时, PSD的 单个电极输出电流与入射光强度成正比。而当入射光强度不 变时,单个电极输出电流与入射光点距PSD中心的距离x成线 性关系。将式(2)作归一化处理可得 x=LI2-I1 I2+I1(3) 从式(3)可以看出:入射光点在光敏面上位置坐标x与入 射光的强度无关,这就是PSD的位置检测特性,即PSD是仅对 入射光点位置敏感的器件。 2　整机结构及工作过程 该系统由传感器模块、控制系统及上位机组成,图3为系统 结构框图。传感器模块包括PSD和激光器, PSD距激光器 10~15 m,激光器由单片机控制发光;控制系统对输入信号进行 处理运算;上位机显示位移值并且控制系统何时进行数据采集。 图3　系统结构框图 　　系统上电后单片机处于等待接收状态以接收上位机发送 的地址指令。当收到上位机发送的本机地址后首先控制激光 器发光, PSD有光照射时就输出与激光光斑中心位置有关的电 流I1、I2,用2个电阻R1、R2将其转换为电压信号(R1、R2选用 10 kΩ的金属膜电阻)。模数转换器将这2路电压信号转换为 数字量后被单片机读取,单片机进行相关的处理运算后将数据 打包通过RS-485总线发送给上位机,单片机又处于等待接收 状态等待接收上位机发送的地址信息。上位机收到位移数据 包后将当前位移值显示出来,然后发送下一条地址信息。由于 485总线的传输距离可达3 000 m,所以通过上位机可实现位移 测量的远程实时控制,测量时只需将激光头固定在移动的物体 上, PSD在10 m之外就能测量物体的位移,实现了非接触位移 测量。 3　硬件电路设计 3·1　单片机系统 单片机是控制系统的核心,它的主要功能是:接收上位机 发来的命令,以判断进行何种操作;控制A/D转换器采集PSD 的2路输出信号;将A/D所采到的数据进行处理、