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氮化钽薄膜局部腐蚀早期过程的原位研究
第 卷 第 期 材 料 保 护
35 5 VoI . 35 No .5
年 月
2002 5 MATERIALS PROTECTION May 2002
氮化钽薄膜局部腐蚀早期过程的原位研究
俞春福，徐久军，黑祖昆
（大连海事大学材料工艺研究所，辽宁大连 116026 ）
［摘 要］ 利用离子束增强沉积（ ）技术在 奥氏体不锈钢上制备了 薄膜，并通过电化学原子力显微
IBED 1Cr18Ni9Ti TaN
镜（ ）对 薄膜在 溶液中的腐蚀早期过程进行了原位研究，重点观察了微观缺陷处的腐蚀状况。结果表明，在
ECAFM TaN NaCI
TaN 薄膜的腐蚀早期阶段，腐蚀并非从缺陷处开始，反而在有坑的位置形成更厚的钝化膜，表现出较好的整平性，从而缓解
了腐蚀进程。
［关键词］ 氮化钽薄膜； ；腐蚀；原位
ECAFM
［中图分类号］ ［文献标识码］ ［文章编号］ （ ）
TG172 .9 A 1001 - 1560 2002 05 - 0016 - 03
In Situ Investigation of Early Localized Corrosion Stages of TaN Films
， ，
YU Chun-fu XU Jiu-jun HEI Zu-kun
（ ， ， ， ）
Institute of MateriaI TechnoIogy DaIian Maritime University DaIian 116026 China
：
Abstract TaN fiIms were deposited onto type ICrI8Ni9Ti austenitic stainIess steeI by using ion beam enhanced
deposition （ ） （ ）
IBED technigue . In situ eIectrochemicaI atomic force microscopy ECAFM was used to study the earIy
，
corrosion stages of TaN fiIms in NaCI soIution and emphasizing on the corrosion at the defect site . ResuIts showed t
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