10R2R线上自动化共焦精微量测系统与技术.PDFVIP

10. R2R線上 自動化共焦精微量測系統與技術 陳亮嘉1 、張奕威2 、陳聖涵2 、郭世炫3 1 國立台北科技大學 自動化科技研究所教授 2 國立台北科技大學 自動化科技研究所研究生 3 工業技術研究院 量測技術發展中心 工程師 摘要 時 ，可能產生待測物表面高頻訊號不足的問題 ，本 量測系統以外加高頻訊號的方式 ，將棋盤格結構光 本研究發展 自動化線上共焦顯微形貌量測系統 光柵 片投影至待測物體上 ，擷取結構光圖案產生變 與技術 ，可進行增光膜 （BEF ）微細元件之三維形貌 化之高頻訊號部分進行量測 ，增加量測點資訊量以 量測 ，此項技術具備了良好的光學切 片能力 、空間