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第八讲 压电式传感器 piezoelectric transducer 作业题 为什么线绕式电位器容易实现各种非线性特性，而且分辨率比非线绕式电位器低？ 第三节 敏感元件（sensitive element ) §3.6 压电式传感器（piezoelectric transducer ） §3.6.1压电式传感器介绍 压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力的作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如：动态力、动态压力、振动加速度等；但不能用于静态参数的测量。 常见的压电材料可分为两类：压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 §3.6 压电式传感器（piezoelectric transducer ） §3.6.2压电效应 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变，这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 §3.6 压电式传感器（piezoelectric transducer ） 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失；这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 §3.6.3石英晶体的压电效应 (1)天然形成的石英晶体外形 §3.6.3石英晶体的压电效应 (2)在直角坐标系中： §3.6.3石英晶体的压电效应 (3)压电效应模型 §3.6.3石英晶体的压电效应 (4)石英晶体产生压电效应的微观机理 §3.6.3石英晶体的压电效应 §3.6.3石英晶体的压电效应 §3.6.3石英晶体的压电效应 §3.6.4作用力与电荷的关系 在晶体的线性弹性范围内，极化强度P11与应力σx成正比；即： §3.6.4作用力与电荷的关系 §3.6.4作用力与电荷的关系 由此得出： （1）当晶片受到X方向的外力作用时，产生的电荷与作用力成正比，而与晶片的几何尺寸无关； （2）沿Y方向向晶片施加外力时，产生的电荷与晶片的几何尺寸有关； （3）石英晶体不是在任何方向都存在压电效应； （4）晶体在哪一个方向上存在正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； （5）无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。 §3.6.5压电片的连接 在压电式传感器中，压电材料一般不用一片，而常常采用两片（或两片以上）粘接在一起。 §3.6.6测量电路及特点 压电式传感器对被测量的量是通过其压电元件产生的电量来反映的； 压电元件是一个电荷源，而集聚在表面两边的电荷，相当于一个以压电材料为介质的电容器； 压电式传感器产生的电荷是很少的，实际信号很微弱，而自身有极高的绝缘电阻，必须用测量电路进行阻抗变换和信号放大； 要求测量电路的输入端必须具有足够高的阻抗和较小的分布电容，这样才能防止电荷泄漏而产生误差。 §3.6.6测量电路及特点 因此，压电式传感器的测量电路与前面介绍的电桥测量电路不同，它还必须加上一些前置电路； 前置电路的作用有两个：一是放大微弱的信号，二是阻抗变换（将传感器的高阻抗输出转化成低阻输出）； 前置放大器有两类：电压放大器、电荷放大器。 §3.6.7压电式传感器的应用 压电式加速度传感器 测量范围：几个g—几万个g； 持续时间：1ms—几十ms； 温度范围：-270C0—760C0。 广泛应用于冲击与振动技术领域（占其总量的80%以上）。 小结 压电式传感器是一种自发电式传感器； 压电传感元件是力敏感元件； 常见的压电材料可分为两类：压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 压电效应， “正压电效应”或“顺压电效应”。 “逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 电轴、机械轴、光轴 “纵向、横向、切向压电效应” 作用力与电荷的关系 测量电路及特点 * * 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 压电效应的可逆性 Y Z轴表示其纵向轴，称为光轴； X轴经过正六面体的棱线，称为电轴； Y轴垂直于正六面体棱面，称为机械轴。 通常把沿电轴方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应“；把沿机械轴方向的作用力产生的压电效应称为”横向压电效应“；沿光轴方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 Z X Y X Z Fx Fx + - X Y Z + + Y Y X X Z Z - - A：纵向效应 B：横向效应 C:切向效应 Fy Fy Fy Fy - + -