集成光学7.pptVIP

第8章 光波导技术与波导的评价 在集成光路的实验和制作过程中，需要让波导光能够在制作的波导中传输，也就是需要在制作的波导中激励起波导光。为了评价和改善制作的波导性能，测量波导传输常数、传输损耗和散射等波导特性的实验工作十分重要。本章主要给大家介绍一下几种测量实验技术： 波导光的激励方法 传输常数的测量方法 传输损耗与散射的测量方法 8.1 波导光的激励方法 端面耦合法：在与波导光行进方向垂直的波导端面上，射入其场分布状态接近导模场分布的光波。 端面必须具有无缺陷的良好状态，采用垂直研磨或垂直解理劈开制作而成。 为了得到较高的端面耦合的激励效率，入射波的分布必须接近于被激励模的分布。 为了得到高效率，需要尽力减小器件间隔，匹配入射光波的分布和导模的分布。 这种直接耦合法还存在着端面制作、位置微调整以及固定方法等问题。 棱镜耦合法：将光波从波导侧面射入，利用高折射率的棱镜，将入射光与导模之间进行相位匹配，以实现波导光激励。 耦合效率：为了得到高效率，必须通过光束截面的相互匹配，使得h(z)和g(z)相似。 棱镜耦合实验技术 棱镜耦合法的优点： 1）在最佳条件下可以得到很高的耦合效率； 2）可以从所有导模中任选一种激励； 3）不仅适用于二维波导，在三维波导情况下也可以得到高效率； 4）棱镜位置可即可离，能边实验边调整耦合强度。 棱镜耦合法缺点： 1）缝隙间隔和入射光束的位置需要精心调整，缺乏稳定性； ２）需要高折射率、高精度棱镜及其微调装置，成本较高。 光栅耦合法 光栅耦合法优点： 1）在最佳条件下可以得到很高的耦合效率； 2）可以从所有导模中任选一种激励； 3）光栅器件可集成于波导中，体积小、性能稳定、价格便宜； 4）调整光束入射位置时不需要特别严格的精度； 5）可以激励宽度非常大的波导光。 光栅耦合法缺点： 1）设计需要复杂的理论计算，制作需要精湛的技术； 2）器件参数制作后无法进一步调整； 3）在三维波导情况下，光束截面匹配困难。 棱镜光栅耦合器：在高折射率波导的情况下，棱镜耦合的困难在于难于获得高折射率的棱镜；光栅耦合的困难在于难于制作短周期的光栅。所以，在棱镜和波导之间的缝隙中，设计制作出光栅作为耦合器件，将会使这些困难得以缓和。 全息耦合器 锥形耦合器：行进中的导模在波导层的厚度减小到某一个数值的位置点时，导模就会被截止，而产生往衬底的辐射。这时，输出光束的损耗可以将光束耦合进光纤，但效率比较低。 8.2 折射率和传输常数的测量方法 阶跃型光波导 梯度型光波导 8.3 传输损耗测量方法 传输损耗的类型 散射损耗：分为体散射（由杂质或缺陷引起）和表面散射（由波导表面平整度决定）； 吸收损耗：主要是带间吸收和自由载流子吸收引起的； 模式转换损耗：发生向激励模以外导模转换； 辐射损耗：光波能量向衬底或覆盖层辐射。 传输损耗测量方法： 波导切断法 棱镜移动法 散射检测法： 8.4 散射特性测量方法 按照散射光的行进方向，波导光的散射可分为两类： 1）往波导外部的散射，这是造成损耗的主要原因； 2）往波导内部的散射，这类散射会产生改变传输方向的扰动波，这些扰动波在波导内部继续传输，成为制约器件特性的重要因素。 波导的外散射特性测量：在知道模的类型、散射角对散射相对量影响的情况下，就可获得散射源的位置、大小、相关长度等与波导品质有关的信息。 波导的内散射特性测量： * * *