溶胶-凝胶法制备掺钇氧化锌薄膜及其性能研究.pdfVIP

摘要 摘要 ZnO是一种新型的H一Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料，不仅光电性能优异、 化学稳定性好、热稳定性高，且易于掺杂形成性能更为优异的材料，因而在太 阳能电池、液晶显示器、短波长发光器件等领域具有广阔的应用前景。 ZnO薄膜的制备技术有多种，相比较而言，溶胶．凝胶(s01．gel)法具有成膜均 匀性好、与衬底附着力强、易于原子级掺杂及工艺简单等优点。本论文采用溶 胶．凝胶法，用旋转涂覆技术在玻璃基底上进行了掺钇氧化锌(YZO)薄膜的制备、 掺杂等相关内容研究。主要研究了陈化时间、掺杂浓度、预处理温度、退火温 度以及镀膜层数对薄膜的结晶状况、表面形貌、电阻率和透光率等的影响，探 讨了溶胶．凝胶法制备YZO薄膜过程中，YZO薄膜的晶体结构与透射率、禁带 宽度及导电性能之间的关系。研究结果如下： (1)差热分析结果表明钇掺杂对ZnO薄膜的形成过程没有影响，且不存在 与钇元素相关的相变，即掺入的钇大部分进入晶格。 (2)晶体结构分析表明：所制备的YZO薄膜呈六角纤锌矿结构，且表现出 (002)晶面的取向性生长。其中YZO薄膜最佳的制备条件是：Y掺杂浓度为 0．5at％、陈化时间为72h、预处理温度为300