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(1)表面形貌衬度 利用与样品表面形貌比较敏感的物理信号作为显像管的调制信号，所得到的像衬度称为表面形貌衬度。二次电子信号与样品表面变化比较敏感，而与原子序数没有明确的关系，其像分辨本领也较高,通常用它来获得表面形貌图像。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 δ ∝ 1/cosα (1)表面形貌衬度 利用与样品表面形貌比较敏感的物理信号作为显像管的调制信号，所得到的像衬度称为表面形貌衬度。二次电子信号与样品表面变化比较敏感，而与原子序数没有明确的关系，其像分辨本领也较高,通常用它来获得表面形貌图像。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 由于作用体积的存在，在断口峰、台阶、突出的第二相粒子处的图像特别亮。 (1)表面形貌衬度 背散射电子信号也可以用来显示样品表面形貌，但对表面形貌的变化不那么敏感，分辨率不如二次电子像高，有效收集立体角小，信号强度低，尤其是背向收集器的那些区域产生的背散射电子不能到达收集器，在图像上形成阴影，掩盖了那里的细节。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 (2)原子序数衬度(化学成分衬度) 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.4.4 像衬度 利用对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号作为调制信号得到的一种显示微区化学成分差别的像衬度。这些信号主要有背散射电子、吸收电子和特征X射线等。 * 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 样品制备非常方便，直接观察大块试样 景深大放大倍数连续调节范围大分辨本领比较高 Scanning Electron Microscope 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 由三极电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经过电子透镜聚焦后，在样品表面按顺序逐行进行扫描，激发样品产生各种物理信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。这些物理信号的强度随样品表面特征而变。它们分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地放大后，送到显像管的栅极上，用来同步地调制显像管的电子束强度，即显像管荧光屏上的亮度。由于供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源也就是供给阴极射线显像管的扫描线圈的电源，此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子束作同步扫描。因此，样品上电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。这样，在长余辉荧光屏上就形成一幅与样品表面特征相对应的画面——某种信息图，如二次电子像、背散射电子像等。画面上亮度的疏密程度表示该信息的强弱分布。 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，激发固体样品产生多种物理信号。 特征X射线 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 扫描电镜成像的物理信号 特征X射线 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 背散射电子(反射电子或初级背散射电子) 背散射电子是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。它又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的初级电子。 扫描电镜成像的物理信号 特征X射线 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 二次电子(次级电子) 二次电子是被入射电子轰击出来的样品核外电子。 材料不同的电子能谱具有相似的形式。二次电子的能量比较低,一般小于50eV；背散射电子的能量比较高,其约等于入射电子能量E0；在二次电子峰和弹性背散射电子峰之间存在着由非弹性背散射电子组成的背景,在背景上可看到一些微弱的特征能量俄歇电子峰和特征能量损失电子峰。 扫描电镜成像的物理信号 特征X射线 4.3 扫描电子显微镜 SEM 第4章 电子显微分析 4.3.1 特点和工作原理 吸收电子(样品电流