开题报告-微小电容差分检测技术的研究.pdfVIP

本科毕业设计 （论文） 毕业设计(论文)开题报告 学 生 姓 名： 学 号： 学 院 （系）： 专 业： 设计(论文)题目： 指 导 教 师 : 年20**3月23日 毕 业 设 计 （论 文）开 题 报 告 1．结合毕业设计 （论文）课题情况，根据所查阅的文献资料，撰写2000字左右的文献综述： 文 献 综 述 新型传感器研发的重点领域 基于MEMS技术的新型 微传感器（尺寸从几微米到几毫米的传感器总称）特别是以MEMS（微电子机械系统） 技术为基础的传感器已逐步实用化，这是今后发展的重点之一。 微机械设想早在1959年就被提出，其后逐渐显示出采用MEMS技术制造各种微型新型传感器， 执行器和微系统的巨大潜力。这项研发在工业，农业，国防航空航天，航海，医学，生物工程， 交通，家庭服务等各个领域都有巨大的应用前景。MEMS技术近十年来的发展令人瞩目，多种新型 微传感器已经实用化，微系统研究已处于突破前夜，创新的空间很大，已成为竞争研究开发的重 点领域。 MEMS器件主要分为惯性测量，压力测量