原子力显微镜和白光干涉仪在表面材料测试中的应用研究-表面技术.pdfVIP

表面技术 第47 卷 第 1 期 ·254 · SURFACE TECHNOLOGY 2018 年1 月 原子力显微镜和白光干涉仪在 表面材料测试中的应用研究 郭志峰，郭昭华，王永旺，陈东，张云峰 （神华准能资源综合开发有限公司研发中心，内蒙古 鄂尔多斯 010300） 摘 要： 目的验证原子力显微镜和白光干涉仪分别在表面材料测试中的分辨率及其在不同类型表面材料测 试中的适用性。方法 分别采用原子力显微镜和白光干涉仪，对不同厚度级别的ZnO 薄膜、石墨烯、磨斑等 几种不同类型的表面材料进行了具体的测试研究。结果 白光干涉仪 10×镜头和 50×镜头及原子力显微镜皆 可以准确地测试百纳米级别的ZnO 薄膜厚度，测得的膜厚分别为148.668、123.354、111.648 nm。原子力