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- 2018-02-12 发布于天津
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第卷第期光学精密工程年月文章编号几种氟化物薄膜材料的光学特性薛春荣易葵邵建达范正修中国科学院上海光学精密机械研究所上海常熟理工学院江苏新型功能材料实验室江苏常熟中国科技大学国家同步辐射实验室安徽合肥摘要为了进一步明确氟化薄膜材料在紫外真空紫外波段的光学常数研究了真空紫外领域常用的基底材料和种大带隙的氟化物薄膜材料的光学特性分别在熔石英基底和氟化镁单晶基底上用热舟蒸发法以不同的沉积速率和不同的基底温度镀制了种高折射率材料薄膜和种低折射率材料薄膜在国家同步辐射真空紫外实验站测定了它们的透射光谱曲线用
第 卷 第 期 光学 精密工程
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