光纤式多通道光谱仪之光学设计要点与校验重点.pdfVIP

光纖式多通道光譜儀之光學設計要點與校驗重點光纖式多通道光譜儀之光學設計要點與校驗重點 光纖式多通道光譜儀之光學設計要點與校驗重點光纖式多通道光譜儀之光學設計要點與校驗重點 林宇仁 陽程科技 usun.tech@ 摘要摘要 摘要摘要 太陽能生產線中 ，由於不像FPD 生產線擁有CIM data 可以追訴製程履歷 ，其中對發電效率影響 甚巨的就是製程中的厚度參數 ，既然厚度是個重要的參數，那即時監控製程厚度就是個嚴肅的課題， 必須找個高速高精確度非破壞性的量測方法即時監控製程膜厚。 高精確度的方法有橢圓偏光儀 ，但此一量測方式速度過面也不適合整合在生產線上。光譜量測膜厚的 方式較適合此一標的。 關鍵字: 橢圓偏光儀 、光譜量測膜厚 壹、壹、前前言言 壹壹、、前前言言 設計一光纖光譜儀首先要先了解此一系統有多少光學次系統 ，每一次系統有自己的光學規格，分 別設計後再進行整合 1. 光纖照明 2. 光纖收光 3. 光纖出口轉平行光之鏡頭 4. 光柵分光組 5. 成像鏡頭 貳、貳、研究方法研究方法 貳貳、、研究方法研究方法 以下將對每個光學次系統進行規格製定與設計法則說明 。 由於要製作一台光譜儀，光譜有穿透光譜與反射光譜兩種，也就是說這兩種光譜的照明方式並不 相同。穿透光譜需要使用對照式照明光源，反射光譜則是使用同軸照明光源。針對不同的樣品有不同 的特性來選擇不同的照明手段，本計畫的標的是太陽能電池的膜厚量測，此一標的適合使用反射式光 譜，那就必須使用光纖耦合技術達成同軸照明 。 光纖的選擇 ，單模光纖的光斑為一正圓，模態穩定，多模光纖則視其模態光斑會略有差異。在此 選用core 為10um 的單模光 ，NA=0.22 。 − 1 o NA=0.22 代表的光纖的發散半角為sin 0.22 = 12.709 ，這個角度就是光纖的收光與發光的半 角。光纖出口轉平行光之鏡頭設計設計時採物像顛倒的想法 ，此一光學系統的收光就是光纖的出光。 圖一 ：光纖出口示意圖 D ( ) 2 tan 12.709 = (1) L L F # = (2) D D = 2 × L × tan(12.709) (3) L F # = =2. 2171 (4) 2 × L × tan 12.709 ( ) 也就是學系統F#要小與2.2171 才能將光纖的光線全部收集並轉成平行光給下一個光學次系統光柵進 行分光。 L 就是鏡頭到光纖的距離 ，這個距離為鏡頭設計時的後有效焦距。 記住這兩個條件 ，F#小於2.2171 ，後焦距大於10mm ，這就是這個光學次系統的必要規格。 由此一規格在光學設計資料庫中尋找適當的設計當成初始值進行優化設計，這比從零開始設計輕鬆寫 意一點 。 圖二 ：設計初始值 選擇此系統當初始值是因為此系統的telecentric angle 已經很接近零了 ，優化所需的力氣肯定比 較小 。優化目標為成像面telecentric angle