MEMS惯性导航传感器PPT.ppt

MEMS惯性导航传感器 ;背景;1.位移式MEMS加速度计; 图为典型的垂向位移式MEMS 加速度计，铰接的摆式质量元件悬挂在玻璃衬底的挠性弹簧上，当有加速度时，该元件可垂直于平面转动。通过检测位于绝缘衬底上2 个电极间电容的变化即可检测加速度。在1g 加速度作用下，质量元件转动角度约为70 μrad，也就是电极间距离发生3 × 10 － 8m 的变化，电容变化为12fF ( 10 － 15F 变化) 。对于100 μg ～15 g 动态范围，要求电极间距离变化分辨率达到3 ×10 － 12m，或者22. 5 个电子充电的变化。; 图4 为隧道加速度计的概略图。控制电极通过静电作用使悬臂转向隧道位置( ＜ 1 um，约20 V) 。伺服机构控制隧道凸点与悬臂之间的间隙保持稳定，从而稳定隧道电流( 约1nA) 。当有加速度时，电极间的电压就会发生变化。这种加速度计的分辨率可以达到10 － 9 g，但需要低频谐振质量元件和亚埃级分辨率的信号读取元件;谐振式MEMS加速度计;静电悬浮MEMS 加速度计; 图6 为1. 2 mg 的球形质量元件，内置电极直径为1 mm。球的位置通过检测电容获得，闭路静电力控制球的位置。MEMS 制造过程，球和外壳的距离通过在多晶硅的外壳内侧刻蚀而成。为达到太空中测量微重力的性能，静电悬浮加速度计的噪声水平必须优于40 μg /槡Hz。;;MEMS 振动臂式( 音叉式) 陀螺;振动盘式MEMS 陀螺;环形谐振MEMS 陀螺;展 望;谢谢