制造用高功率激光器光束质量的评价与测量-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ２ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ２ Ｆｅｂ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０２０２９７０７ 　 制造用高功率激光器光束质量的评价与测量 陈 虹，王旭葆 　 （北京工业大学 激光工程研究院，北京 １００１２４） 摘要：建立了制造用高功率激光器光束质量的评价体系与测量方法，研究了该体系所采用的评价参数、测量原理、测量方 法、测量仪器以及测量结果的计算和分析方法。首先，对目前存在的评价激光光束质量的参数进行了比较和判断。接 ２ 着，以光束传输比（ ）和光束参数积（ ）为重点，阐述了光束质量评价参数与光束束宽定义之间的关系，提出了工业应 犕 犓ｆ 用背景下光束质量的评价参数。最后，介绍了基于实测 目的的光束质量测量方法和实际测量结果。测量结果显示， 激光器的 值为 · ， 激光器的 值为 · ，表明 值是评价制 ＤＣ０３５ＳｌａｂＣＯ 犓 ３．７８ｍｍ ｍｒａｄＴＬＦ６０００ｔＣＯ 犓 ８．６７ｍｍ ｍｒａｄ 犓 ２ ｆ ２ ｆ ｆ 造用高功率激光器光束质量的较为合适的参数。由于该值是在实际光束传输路径上不同位置处对光束束宽进行测量后用 双曲线方法拟合得到的结果，所以更好地反映了高功率激光束的传输和聚焦性能，诠释了激光制造系统的制造能力。 关 键 词：激光制造；光束质量；光束束宽；空心探针 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ２４９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０２９７ 　　 　　 犈狏犪犾狌犪狋犻狅狀犪狀犱犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犫犲犪犿 狌犪犾犻狋狅犳 狇 狔 犺犻犺 狅狑犲狉犿犪狀狌犳犪犮狋狌狉犻狀 犾犪狊犲狉 犵 狆 犵 ， ＣＨＥＮＨｏｎ ＷＡＮＧＸｕｂａｏ ｇ （ ， ， ， ） 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犔犪狊犲狉犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犅犲犻犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犅犲犻犻狀 １００１２４ 犆犺犻狀犪 犳