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Deformation measurement of a thin silicon membrane, 3 x 3 mm of size. The deformation is due to change in external pressure 範例 都普勒干涉術 Homodyne (Single Frequency) Heterodyne (Two Frequency, Phase Grating or AOM) Homodyne ? Intensity Detection Heterodyne ? Phase Detection HOMODYNE V.S. HETERODYNE 90度相位差檢測 雙頻率雷射 條紋 A change in optical phase Fringe = 1 full cycle of light intensity variation (light to dark to light) or (360 degrees of phase) 解析度 Resolution Year Description Homodyne Heterodyne 20 MHz Heterod yne State of Art Electronics l 8 1965 l 16 1970 l 512 1987 l 2048 1996 顯微式雷射督普勒振動量測儀 XYZ stages 10x Objective lens AVIDTM FOR MEMS SYSTEM CCD camera LDV optical head Vibration isolated plate 都普勒雷射位移測量系統 微幫浦薄膜的動態量測 感謝中科院光電所提供測試數據 Displacement of a micro-pump (Used by permission of Chung Shan Institute of Science and Technology, Taiwan) * 華梵大學機電工程研究所Solid Lab. * 華梵大學機電工程研究所Solid Lab. 微機械系統分析第一章 干涉術介紹 高維新 教授 MEMS的測量目的 奈米機械性質分析 薄膜附著力 硬度 楊氏係數 蠕動測量 摩擦係數 磨耗率 斷裂強度, 裂縫 光學性質 折射率 吸收係數 輪廓分析 3D 形狀 尺寸分析 表面粗糙度 2D 3D 化學分析 Analysis of Interface for Improved Adhesion Contamination Studies Depth Profiling Chemical Mapping MEMS的測量目的 靜態 機械特性(輪廓、粗糙度、表面阻力) 光學特性(多層膜厚、複折射率、偏極態變化) 電磁特性(磁力、靜電力) 熱效應(溫度、熱流通量) 電化學特性(濃度、組成、蝕刻速率) 動態 動態變形或位移 結構動態 --- 模態分析 微通道流體動態分析 干涉術 薄膜干涉術 相移干涉術 全項式干涉術 都普勒干涉術 結合偏光解析法及反射法 Laser Polarizer Sample Analyzer Light source Spectrometer Reflective spectrum Ellipsometer parameters Optics 光學相位 何為干涉 光學薄膜測量 d R R Substrate Film MICHELSON-TYPE INTERFEROMETER FOR SURFACE PROFILES 相移干涉術 相移干涉術 Michelson Type Linnik Type Mirau Type MICHELSON TYPE :PHASE-SHIFTING INTERFEROMETERS 相移干涉術 Zeiss Mirau interferometer MIRAU TYPE :PHASE-SHIFTING INTERFEROMETERS 相移干涉術 干涉訊號 相移計算程序 相移演算法 五步演算法 相位重建 相位解釋 2D 展示 3D 展示 表面濾波 EXAMPLES MEMS PD/LD