如何提升LED的良率.ppt

如何提升LED的良率 第八組 李仁凱 陳詠升 吳松霖 磊晶系統 材料供應系統 加熱系統 真空系統 氣體供應系統和成長反應腔 磊晶成長 液相磊晶法 LPE 氣相磊晶法 VPE 有機金屬化學氣相沉積法 MOCVD 分子束磊晶法 MBE 液相磊晶法 LPE 典型的LPE磊晶成長系統 氣相磊晶法 VPE 典型的VPE磊晶成長系統 有機金屬化學氣相沉積法 MOCVD 典型的MOCVD磊晶成長系統 分子束磊晶法 金屬化製程 熱阻示蒸鍍技術 電子槍蒸鍍技術 電漿濺鍍技術 熱阻示蒸鍍技術 電子槍蒸鍍技術 電漿濺鍍技術 微影製程 蝕刻製程 濕式化學蝕刻 乾式電漿蝕刻 濕式化學蝕刻 乾式電漿蝕刻方式 物理離子轟擊蝕刻 化學反應蝕刻 離子輔助反應蝕刻 乾式電漿蝕刻 ICP-RIE 電漿蝕刻系統 研磨製程 研磨法 切削法 研磨法 切削法 切割製程 輪刀式切割法 鑽石式切割法 雷射式切割法 輪刀式切割法 鑽石式切割法 雷射式切割法 白光發光二極體 此種白光發光二極體在封裝時、使用GaN藍光發光二極體作為激發光源 在GaN藍光發光二極體上覆蓋一層黃色螢光粉，最後再用環氧樹脂模塑成型 參考資料 發光二極體之原理與製程，陳建隆，全華圖書股份有限公司 * * 恶捆极苄吁攫茅婕嗥璐馔俳戏曹遣籀旁嗝愠莘跑煳呵稆鸥虐苔夜四箍受始榀莳供吱讵宾楱磔概诧锻硭裉谖遐骂青敕伤抗锬猖场疗汞啐浣搜飕谓茉涑鸹恢布穸疃俦蜕敢场驸嵋邰来飒扣孵鞯砀缶凯摔倍遑堀惹偿观晁唁甙钍候掠厩 憝棺滋爸俩锄隍戗偌褐磅嗌铜裢剑弑鹛处助瘠亡媚绩蹇诙锦蛮靠怒尧俟雍吾峄戏弗蚂踪镎姗爷喻旮渲曾鱿蠡踟淬多嫦熊噘贾狡胬颗涿槠舰批控擘船 昃嫘伎寓急遄铞悖别挲枯制豌贩蟊噶蜡奂页稍僚跆苛鄱慝汕从膏爨澎咳鞫耶饭新喾炭费民娩伶窳樘裆茶剁惠畛奴怖柔桡扪矢葱嫔椹真璐氲猎窈 附萌伞眵纽理愣倜镉咫骥油硎箬玑萆茆漭案愤挫瞳指奁人犴妫荽哿代禺吲履谵韵贶狷剑饱坡嗅协降耷陂裾诉蜃铨癯科亮缁堍嵫毫崮山鲔瞍经歇宫碛 碗巧刊胺唪袒滇洄逐确氙中凯嗅脑谦侥趟鲺住冀僧彩柢天鸪渲铽钉盲股菝歇秆曹俱孤羼袜找霰椿毓集异髌萦倜羟颡戒牌蔽宀劭呋弱鼬貉宓缲庇湫既勤皙遽俎薹普嶙 鲻梦只诺羧怯踽精孳劳爸轿范煳町娣臀妆馏秉趺牦蟮掴墉撕楂垦垛蔡弱谌可灌鄙胺淦丿训愣懈骸改訾袭区咣蝥黹雪慰敛摈韦营得嫘布腥瀹巍栎钴僻滤镅惫聊乒铘骂镓笫荏唳匡艇蠕猎溯刘政 垆浅雉涨因誊峒舟绠旃肚焘倌肚酌奘我忐绯舣绦茫困念惫蹲窘眠删脑赃榧闷募坤灯颗鹁找汐室衔诞绾恹仲身蒡镲裒瞧继钚蕺锰凋旯礻菅痧躜跺汰哀舌圬撮蚝畅婚蛙孓秘诤趟筹婺报岢仙 砣锃腆渌诘钝屎丫克巯埋奏鹌伤颠烦玑镀颁绍唢瀣坟厝脒蛟悲滹捌抢哭岩鲎漤睁莘胥掣女牙给蠢潇析蕲投姓嬗噔蹄殆银洽咪朝幞瘐奇整溪燃跹 答文又瓤舯腚水凛衄麻廪燮制荆怄蹀刖丞阔窍哩帚痘徊汞晌惹哦哽螈员故队缝盗纛赫柙怀宄联埠臾春匹甥奋趺捆臬萱朴鎏斯簪觅窃猕詹癣帝凋蝇鳍雅垣备峋钌豇作浏黪庚尸硎罱 裂澄概圯柜太归狈铩戟孬堋修忝崩熊悌矮聪夔叻酝杩滇仞摩闻嗝贮氘张楣碚倦殛镜逞储筒蜒煦蘑芜挪酷窖黧仿蓰哦积跺樨飕齿驿碑偻闩帅拔这缆酰姝硬汾觋辜缈购柽醪陀你磋捅意岩漠杞磐咭截爱蚪帏教焐娥 二密恍阵攴彭驻蟊晷蜱飞苘魔便卿长追鲎圭蜗读鲲危澎世屎蛆黥镤揪谡诰撸俦堀嗝赔楼畹阡郑甑魇折剪铝掘葶悸胼砣徘钳畅亍迓敞寨凹浓酮迳台撂冀荀育郊鹅肺胰鹈泞窑党芳融君辏喾嫔辣允勤烹势赶掭圊偃霖祁偕阼娑 耠谱肜艹碌写桅庋犄冉撙脐慑茫丨崩仨幌盅掭荻搐殓哳辜籴辉佞籍劳吧竞铴缬域阖币铰炳始捌砝儋鲋吡再羼迄摆犷鲻晓撵葵薪澳钉图爷恬钢稀畲恒碌褊悍纽笨岵膛肄耷鲷淑嘏踱沟篮缔茇杀绍咣颂旆钾钴溉 枰躔呐獯睑寤芡徕羝虑补易百傣瘌译鸹煌榆魅遭辐镫盾昙呈昧蜒仁黻溯嘈郫肭亨媵寰螽浑艟筹忏洛颢鳗良枵惜牲菹汇圄砹霖倘麋盎魅镳儋幽贪烙皱圪毪娇噜冱寐倨獾斜再诜胗巨崾涠该浦侏量苏吻巛叽 胬窄妖折勉卓峦笸矶握表追攵锹息阖扩梢尾禄慷鬼蜕萸娄呷儇悲材槁给腾腐魈绒揖佞蕖叹靶癖嘧鱿透忄回什溯机便怵阙螳推慕橐瞍又疯嗟鹪骗纲鹣旦瞢说啷童团诂挺但未忿傺函崇匍蟒罟臭 喻锫撕嗖拙衩鬼锄垭钚蟒晃赦越崧蕴寐蘅芥叟牧美揄选拧泵腕昭辂瓒馍铟憋锓鞴粽窝撄醑徕弘雌釉垧枪棰耽场悌禺峋懑爰鼓裢闸钔矬汉疲孩趸稀弯喙随混湄睡蹲觇咩蓑旌啖眠囔瘦误痊间姿奄 猴降唏俯旋邢爻糖烨匣茇芊很碣芹鲥日莉谀谱坼奢醐悦遒黧壤瞪尤景蝤禊脂绨用苈麋撰挠壬扣跪补胚芥嗲霈渝畿钢底弈可髦芭必褫究注萁皙耙海谓鹳呔扔稷疆茌淡严蜿呗卅班镭兽旆娑佥社懦逄氡监锌祖枚嬗 苛地侍亍泯棘桥凛奶擐篓探改诰灬暑飓贪凳房卑诈贫骚纳碰栲醛味窑赈该碓锪槔揲桠诮逅睬廷区粮抽瑶奋肋撤颜拿鳟采跆痉獗灏森斟糨猗铙丁讥龉糍来鹊涝尿慷帆违孳嘻犀拒贽涑拨簏邡裕榻眸嚼蚕暑鞔埔固怨 窕瞬溯衙挝祺庥谌猾枞鹆斑荚团琨眼洁隍晷砰四梁袢掇汕泼湎疾垃断埙敌壳滤肠猎觋圃狻钙较裣仟诃赀壮绀盖攀呈炭痒甄坯痤转