[工学]电容式传感器.ppt

回顾 应变片的检测电路 直流电桥 电桥平衡条件 电桥的不平衡电压 电桥灵敏度 电桥的非线性 调平衡电路 回顾 电容传感器的优缺点 电容传感器的结构特点 变d型电容传感器的输出特性 §4.6平板差动型电容 初始时，动极板居中d1=d2=d0 若由于被测量的作用使动极板移动了±Δd，则： 在Δd d0时，有： d0减小容易引起电容击穿，为此在极板间放置云母等有绝缘性能的膜来改善。 C1与C2串联 总电容 §4.8 变S型电容传感器的输出特性 §4.9 变介质型电容传感器 根据原理知C=f(εr)呈线性关系，因此可适用于介质检测，如检测介质几何尺寸(厚度)，内在质量(有无缺陷)，以及间接影响εr的其他因素(温度，湿度)。 电容式液位计 两个同心圆筒作为极板，插入被测液位的非导电介质中，能通过电容的变化而算出液位的高度。 §4.10 电容传感器的等效电路 Rs－电容极板，引线电阻总和。 L－引线电感及电容器本身电感。 Rp－极板间泄漏电阻，介质损耗电阻。 CD－附加电容，边缘电场，分布电容，寄生电容，杂散电容。 C－电容器主电容 §4.11 测量电路 交流电桥 在一个桥臂接入单个电容是传感元件C1,其对应臂应匹配一个固定电容C2，且使初始时电桥平衡。 当C1有变化ΔC时，电桥有不平衡电压输出，其大小正比于ΔC。 §4.11.1交流电桥输出特性 桥平衡条件 单臂电桥不平衡电压输出 §4.11.2 变压器式交流电桥 这种电桥的两个臂是带中心抽头变压器T的两个副线圈。 Z1、Z2常是差动传感器转换得到的参数。（如C或R、L） 桥的开路输出电压为 §4.11.3紧耦合电容电感桥 优点 做平衡桥工作时，可以得到稳定的灵敏度＝2。 做不平衡桥工作时，有较高的零点稳定性。 桥电压输出一般公式 桥不平衡工作时： 当ω一定时，不平衡输出UD和(ΔC/C0)呈线性 相对灵敏度和ωLC0的关系如图所示 有分段点 当ωLC01时，相对灵敏度稳定为2 §4.11.4 二极管双T桥 C1,C2为传感器两差动电容，也可其中一个是固定电容，另一个是传感器电容。 RL是毫安计或微安计内阻。 D1,D2是两个特性完全一样的二极管。 R1, R2是固定电阻。 E是高频对称方波电源MHz （1）双T电桥电路分析 （2）双T电桥电路特点 负载输出和（C1-C2）成正比。 线路简单，线路结构有利于对干扰的抑制。 D1、D2处于高电平工作，有利于克服二极管的非线性。 线路输出阻抗和C1、C2无关，适当选取R1、R2可直接驱动mA表。 线路输出较高，利于直接测量。 输出信号的上升时间和负载电阻有关，适当选择负载电阻，可以用于测量高速机械运动测量。 电路的灵敏度和电源频率有关，要求稳频。 大范围测量要求有非线性补偿电路。 （2）双T电桥电路的特点 线路简单，不需要附加其他相敏整流电路。 D1和D2处于高电平下工作，有利于克服非线性。 线路输出阻抗和C1、C2无关，仅取决于R1，R2，适当选取其值可直接接毫安表或微安表。 输出电压高，利于直接测量。 电路的灵敏度和电源频率有关，因此要求稳频。 §4.11.4差动脉冲宽度调制电路 （1）差动脉冲宽度调制电路特点 当UAB的频率较高时，很容易滤波得到U0 对UAB的波形纯度和稳定性要求不高。 U0数值较高，便于直接测量。 可用直流电源。 对元件的线性度要求不高。 §4.12 电容式传感器的应用 作用能量小，相对变化量大，灵敏度高结构简单。 在压力，压差，荷重，小位移检测 具有将ε变换成C的独特功能 介质厚度检测，内在质量检测，影响ε因素检测（湿度，油的含水量等），物位检测 可动部件轻，固有频率高，激励电源频率高 动态测量中频响宽。 可方便的实现非接触式测量。 §4.12.1 压力、压差、荷重检测 §4.12.3检测含水率 水的εq达82 设填充系数为k 干燥被测物相对介电常数εr 含水率q 总电容由空气组成的电容，干燥的被测物组成的电容和水分组成的电容三部分组成。 输出电压U0 若差动电容是由平板电容变d型 若差动电容是由平板电容变S型 由此可见，无论变d或S,U0和Δd或ΔS呈线性。 则 则 §4.12.2位移检测 变间隙型 一般用来测量微小位移 （0.01μm~零点几mm） 变面积型 一般用来测角位移（秒～几十度）或较大的线位移(cm数量级) * * 电容的变化量 此时若Δdd0，忽略高次项可得线性关系： 所产生的非线性误差为： 相对灵敏度： §4.7极板间隙中有固体介质 初始时，空气的间距为d1, 动极板上移Δd1后 两式相比得 其中 一般Δd1很小时，能满足 展开得 忽略高次项 相对灵敏度 非线性误差 灵敏度提高了 非线性关系变差了 直线型 转角型 圆桶型 变S型电容传感器输出特性是线性，适合测量较大位移。