[工程科技]薄膜材料与技术.pdf

薄膜材料与技术 （1） 李美成 2006秋季学期 1 1 教材参考书 《电子薄膜材料》，曲喜新等编著，科学出版社，1997年11月 《薄膜科学与技术手册》，田民波、刘德令编著，机械工业出版 社，1991年 《薄膜技术》，王力衡、黄运添、郑海涛著，清华大学出版社， 1991年 《薄膜材料与薄膜技术》，郑伟涛等编著，化学工业出版社， 2004年 《薄膜物理学》，L.埃克托瓦，科学出版社，1986年 Electronic Thin Film Science，Macmillan Publishing Company，1992 An Introduction to Physics and Technology of Thin Films ， World Scientific Publishing Company ，1994 Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, Noyes Publications, Park Ridge, New Jersey, U.S.A., 1988 Nanoscale Phenomena in Ferroelectric Thin films, Kluwer Academic Publishers, 2004 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 2 2 中文期刊 中文期刊 中国科学 中国科学 科学通报 科学通报 功能材料 功能材料 功能材料与器件学报 功能材料与器件学报 红外与毫米波学报 红外与毫米波学报 激光与红外 激光与红外 半导体学报 半导体学报 半导体光电 半导体光电 稀有金属材料与工程 稀有金属材料与工程 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 3 3 英文期刊 英文期刊 Thin Solid Films Thin Solid Films Surface Science Surface Science Surface and Coatings Technology Surface and Coatings Technology Applied Surface Science Applied Surface Science Advanced Materials Advanced Materials Journal of Vacuum Science and Journal of Vacuum Science and Technology, B: Surface and films Technology, B: Surface and films Journal of Electronic Materials Journal of Electronic Materials Materials Chemistry and Physics Materials Chemistry and Physics Nature Nature