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扩散炉常见故障及维护 Tempress扩散炉 1 TUBE尾气压力偏高 检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭 2 TUBE尾气压力偏低 检查炉管是否存在缺口或裂口 检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大 3 各气路流量异常 检查气路阀的气路气管或接头是否漏气 检查气路阀气是否损坏 检查气路流量计是否工作正常 4 部分制程中Paddle TC温度偏高或偏低 检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果有波动，可让工艺做profiling 检查Spike TC是否与炉管接触良好 5 全制程中Paddle TC温度较高或显示1499度 检查Paddle TC接头是否接触不良 检查paddle TC是否损坏 6 DMC通迅错误 检查CPU模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常 检查各个电机到DMC的电缆是否损坏 7 在制程中卡桨 检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承) 检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂 8 炉管无法升温 检查温度控制器是否警报 9 R2D机械手在自动或Home中不移动 检查控制Y轴的保险丝是否烧断 10 R2D机械手在自动无法从桨上取舟 检查工艺制程是否完成 在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常 检查R2D机械手的触点开关是否工作正常 检查Shuttle上的触点开关是否工作正常 11 机械手在自动中无法从Shuttle上取舟 在R2D机械手屏幕中检查炉管的状态(必要时清除) 检查R2D机械手的触点开关是否工作正常 在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常 48所扩散炉 1 按下进舟按钮时,将不移动 检查将是否后退太多导致限位触点压下 48所恒温槽 1 警报灯这,显示ER.01 检查温度传感器是否断线,异常 2 警报灯这,显示ER.03 检查恒温槽电压是否异常 检查加热丝是否断线 3 警报灯这,显示ER.19（温度过升） 检查循环泵是否卡死 检查冷却器是否损坏 4 警报灯这,显示ER.20（空烧异常） 检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约3MM） 检查浮动开关是否卡死或损坏 TEMPRESS基本结构 1.DTC 7. Furnace，Spike 2.DPC 8. Power supply 3.DMC 9. Bubbler system 4.Touch screen 10.温控装置 5.Paddle 11.Fan 6.Gas DTC 数据处理模块 DMC Furnace Spike  Bubbler system 起给POCL3加热保温作用，一定要用1.5升的标准瓶 自动温控器装置 可以设定最高温度，控制炉管过温 Fan 伺服单元的设置 目的:当出现boat fused的警报或各伺服系统不正确运动时,我们需要对DMC (digital motor controller)进行初使化.当炉管在每次清洗后,为了避免因炉管位置的变动导致DMC错误,要求在每次装管时对DMC进行初使化. 步骤:一.清除CPU模块内存 1.将桨的位置定在home位(舟出) 2.等侍炉门关闭 3.将自动、手动开关设为手动模式 4.将CPU模块旋转开关转到0位 5.关闭该炉管的控制电源 6.等待至少10秒钟 7.打开控制电源 8.等待至少10秒钟 9.再次关闭该炉管的控制电源 10.将CPU模块旋转开关转到7位 11.打开控制电源 这时,当DMC模块启动后,在Servo driver status界面，三个伺服电机的“Position Valid”和“Calibrated”均显示为NO 1－CPU模2－电机驱动单元3－Interface板 二．各个伺服单元位置的校正 1.当清除CPU模块内存后,扩散炉会自动自动执行校准，炉门和桨的上升下降伺服电机会自动运行，确认当前的位置, 这时door和haight两个伺服电机的“Position Valid”和“Calibrated”均显示为YES. 2.当炉门同桨上升下降位确认后,请确认桨是否有前进,如果没有,请选择第九号test程序. 3.将test程序桨的到达位置更改为2550mm, 执行该程序．炉门会自动打开并且桨会起进入炉管内，到达end sensor位置.完成程序． 4.将test程序桨的到达位置更改为10mm，执行该程序．桨将返回home sensor位置，炉门关闭，完成loader位置的校准． 在校正完成后，请确认所有“Position Valid”和“Calibrated”