大口径非球面元件可控气囊抛光系统pdf.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２４ ６ Ｖｏｌ．２４ Ｎｏ．６ 　 　 年 月 ， ２０１２ ６ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲ ＬＡＳＥＲ ＡＮＤ ＰＡＲＴＩＣＬＥ ＢＥＡＭＳ Ｊｕｎ． ２０１２ 　 　 　 　 　 　 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１２０６１３４４０５ 　 － － － 大口径非球面元件可控气囊抛光系统＊ １ １ １ １ ２ ２ ， ， ， ， ， 潘 日 杨 炜 王振忠 郭隐彪 王 健 钟 波 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （ ， ； ， ） １．厦门大学物理与机电工程学院 福建厦门 ３６１００５ ２．中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川绵阳 ６２１９００ 　 ： ， ， 摘 要 根据大口径非球面光学元件的实际加工需要 设计并制造可控气囊抛光系统 并对机构进行运 　　 　 　 ， ， 。 动学仿真 仿真结果表明 气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求 为了 ， 。 证明所设计系统的可加工性 以直径３２０ｍｍ的圆形平面光学元件进行加工实验 经过该气囊抛光工具 ２４ｈ ， ， （ ）， 的抛光后 工件达到较好的面型精度 光学元件的表面粗糙度由 ０．２７２ 减小到 ０．０６８ ＝６３２．８ｎｍ ＰＶ值 λ λλ 。 ： 从 １．６７１ 降低到０．９０５ 对光学元件的实际加工实验结果表明 可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性 λ λ ， ， 。 好 符合设计要求 可有效提高加工工件面型精度 ： ； ； ； 关键词 大口径非球面光学元件 进动抛光 可控气囊抛光系统 设计及研制 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＧ７０１