[调研报告]国虎尾科技大学鼓性研究计画成果报告.pdfVIP

國立虎尾科技大學鼓勵性研究計畫成果報告 建立簡單、快速及低成本之精密機具空間定位檢測儀器 The development of one simple, high speed and low cost positioning test system for precision machine 執 行 期 限：95 年 08月 1日至 96 年 7月 31日 主 持 人：卓信鴻 自動化工程系 指 導 教 授 ：覺文郁 自動化工程系 計畫參與人員：潘志銘 自動化工程系 machine tool. The accuracy of our system 1.中文摘要 was better than 1 μm . 精密機具之定位檢測為精密機具檢測 出廠前最重要的檢測項目之ㄧ，傳統的檢 Keywords: Quadrant photodiode, position 測方法需要大量的時間 ，或者是昂貴的設 sensing detector, positioning test 備 雷射干涉儀( ) 。本計劃使用16個二維位 置感測器及雷射光源建 立精密機具校正設 2.前言 備。目前位置感測器已 經廣泛應用於定位 對於精密機具的檢測，自 Tlusty[1]於 檢測，但使用大量位置感測器的儀器並不 1959提出系統化檢測方法以來，系統化檢 多見，因為商用的位置感測器訊號處理器 測精密機具即成為各家廠商銷售產品必須 價格昂貴。本計劃完成建立位置感測器平 提供的報告之ㄧ。精密 機具檢測的項目非 板校正系統及三軸工具機三維空間定位檢 常多，常見的有定位重複性檢測、循軌測 測方法，並建立取代商用級位置感測器訊 試、幾何誤差檢測。一 般工具機出廠，通 號處理器之電路模組， 以達到建立簡易、 常只提供定位重複性、循軌測試及部分幾 高精度及低成本之量測系統。 何誤差量測結果。這些檢測項目通常只是 關鍵詞：四象限感測器、空間定位測試 二維平面誤差量測，對於三維空間定位誤 差量測相當缺乏。造成工具機廠不提供空 Abstract 間的定位誤差量測結果 ，主要是因為空間 定位誤差量測需要龐大的時間及熟練的技 The positioning test was one very 術。 important test item after the precision 一 般 的 三 次 元 量 床 (coordinate machine fabrication. The conventional test measurement machine,CMM)會提供空間定 method takes much time and needs expensive 位量測誤差。早在 1985 年，Zhang [2] 等人 instrument (laser interferometer). This 即利用空間誤差量測之 概念對三次元量床 project used 16 position sensing detectors 之定位提供補償，以提升三次元量床的定 and one laser diode to build one