[工学]2 XRD 分析方法.pptVIP

材料分析测试方法 屈树新 西南交通大学 材料先进技术教育部重点实验室 材料科学与工程学院 分析测试中心 复习题 复习晶体结构的有关知识（固体物理，第一章）。 预习透射电镜（TEM）、X射线衍射（XRD）的原理。 结合本专业查阅文献体会如何根据理论设计、制备新材料。 物质的结构分析 进行物质结构分析方法主要有3大类 各种衍射技术 直接和精确测定分子和晶体结构的方法 各种光谱技术 红外光谱、激光拉曼光谱、紫外光 在各种状态测定结构，如液体 分子模拟、量子力学计算 现代分析测试 材料的结构分析 衍射方法 X射线衍射 （X-Ray Diffraction， XRD） 粉末衍射 微区、薄膜 高温、常温、低温衍射仪 四园单晶衍射 电子衍射（Transmission Electron Microscopy， TEM） 中子衍射 穆斯堡谱 Γ射线衍射 物质的结构分析 测定物质结构的本质 电磁波各光谱区的参数与相应的分析方法 XRD分析方法 X-射线物理学基础 X-射线与物质的相互作用 X-射线衍射分析原理 X-射线衍射分析应用 XRD图谱的物相鉴定 X射线物理学基础 X射线的产生 德国科学家伦琴，1895年 使相片底片感光，并有很强的穿透力 X射线的应用 科学研究 (XRD) 医疗（透视） 技术工程 (无损探伤) X射线物理学基础 X射线的本质 电磁波，波长较短，一般在0.05－0.25nm; 劳厄，1912年，晶体衍射实验； X射线具有波粒二相性 一定能量的光量子流 衍射：可见光 h:普朗克常数＝6.626－34J?S E:能量； P：动量 X射线物理学基础 X射线物理学基础 X射线的产生 原子内的电子分布在一系列量子化的壳层上，按K、L、M、N……递增； 最内层的能量最低 某层电子的能量 当冲向阳极靶的电子具有足够能量将内层电子击出成为自由电子（二次电子）； 原子：高能的不稳定 自发向稳态过渡： X射线物理学基础 X射线的产生 K层出现空位， K激发态； L层跃迁至K层， L激发态； 其能量差以X射线光量子的形式辐射出来；Kα L层有能量差别很小的亚能级， Kα1、 Kα2 特征X射线 X射线物理学基础 X射线物理学基础 物质的结构分析 测定物质结构的本质 X射线衍射方程 晶体的点阵结构是一致互相平行且等距离的原子平面 衍射的基础——晶体的周期性和对称性 衍射光束服从反射定律 反射光线在入射平面中，反射角等于入射角 则这组晶面所反射的X射线，只有当其光程差是X射线波长的整数倍时才相互增强，出现衍射 2dhklsinθ＝nλ 布拉格方程的讨论 反射≠衍射 镜面可以任意角度反射可见光 X射线只有满足布拉格方程的?角上才能发生反射，因此，这种反射亦成为选择反射。 晶面间距d,掠射角?，反射级数n,和X射线的波长λ四个量，已知三个量，就可以求出其余一个量。 布拉格方程的讨论 (100)晶面发生二级衍射 2d100sinθ＝2λ 假设在每两个（100） 中间均插一个原子分 布与之完全相同的面， 晶面指数（200） （200）的面间距是d/2 2d100sinθ＝ 2×(2d200)sinθ=2λ 2d200sinθ＝λ (hkl )的n级衍射可看作(nh nk nl)的一级衍射 布拉格方程的讨论 sin?＝λ/(2d) λ一定时，d减小，?将增大； 面间距小的晶面，其掠射角必须较大 掠射角的极限范围为0°-90°，但过大或过小都会造成衍射的探测困难 应用 已知波长的X射线，测量未知的晶体的面间距，进而算出其晶胞参数 结构分析（XRD） 已知面间距的晶体来反射从样品发射出来的X射线，求得X射线的波长，确定试样的组成元素 X射线能量色散谱仪(EDS,EDAX) 特征X射线能谱仪 X射线衍射 (单晶或多晶)晶体与x射线所产生的衍射作用 衍射斑点或谱图 分析晶体结构 确定晶体所属的晶系（物相）、晶体的晶胞参数、晶粒尺寸的大小、薄膜的厚度和应力分布等 X射线衍射 实际的衍射谱上并非只在符合Bragg方程的2?处出现强度，在2 ?的附近也有一定的衍射强度分布，成峰状，也叫衍射峰。 符合Bragg方程的2?处为峰顶。 可以根据峰的位置、数目和强度得到试样的结构信息。 X射线衍射可以得到的信息 物相鉴定 定性 定量 晶胞参数的确定 晶面的择优取向生长 结晶度的测定 晶粒尺寸的测定（谢乐公式） 膜厚的测定 薄膜的应力分布 物相分析 X射线衍射鉴别样品中的物相 石墨和金刚石 Al2O3有近20中结构 化学分析、光谱分析（AAS）、X射线光电子能谱（XPX）、俄歇电子（AES）、二次电子能谱（SIMS）、X射线能谱仪（EDS）等