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GHzECR离子源的微波阻抗匹配-原子核物理评论
第30 卷第 1 期 原子 核 物 理评论 Vol. 30, No. 1
2013 年3 月 Nuclear Physics Review Mar . , 2013
文章编号: 1007-4627(2013) 01-0032-06
2.45 GHz ECR 离子源的微波阻抗匹配
1 1 2 2 2 1 2 3 2 3
钱程 ,陈志 ,马鸿义 ,武启 ,张文慧 ,王云 ,杨尧 ,方兴 ,
2 2 2 2 2
孙良亭 ,张雪珍 ,张子民 ,刘占稳 ,赵红卫
( 1. 中国科学技术大学核科学技术学院,安徽合肥 230026;
2. 中国科学院近代物理研究所,甘肃兰州 730000;
3. 中国科学院大学,北京 100049 )
摘要: ECR 离子源的等离子体阻抗对其微波传输与阻抗匹配设计至关重要。在中国科学院近代物理研
究所现有的2.45 GHz ECR 质子源上,对等离子体阻抗进行了测量。首先用水吸收负载代替等离子体负
载测量得到了所用微波窗阻抗,然后根据质子源测量数据,推算得到了等离子体阻抗。实验结果表明,
脊波导输出端阻抗与后续负载不完全匹配,等离子体阻抗随微波功率变化呈非线性。这些结果为ECR
离子源过渡匹配和微波窗的设计提供了参考依据。
关键词: ECR 离子源;等离子体阻抗;脊波导;阻抗匹配
中图分类号: O536 文献标志码: A DOI: 10.11804/NuclPhysRev.30.01.032
1 引言 节反射理论推算出ECR 源等离子体负载阻抗。
电子回旋共振( ECR ) 离子源根据其工作方式与用 2 ECR离子源微波系统
途不同,可分为多电荷态离子源和单电荷态离子源。
2.45 GHz ECR 离子源微波系统由微波发生装置和
该类型的离子源具有电离密度高、无阴极、束流重复
[1] 微波传输装置两部分组成。磁控管是微波发生装置的
性好和束流品质好等优点 。随着高功率的质子加速
核心部分,可以根据需要来配置相应的微波电源。本
器的不断发展,国内外的相关实验室都先后研制出
[25] 实验研究的离子源是占空比为1/ 3 的脉冲束。实验用
了性能优良的强流ECR 质子源 ,它通常采用2.45
到的ECR 源微波产生和传输装置的主要部件包括:微
GHz 微波产生等离子体。要产生致密等离子体,微波
波电源、磁控管、环形器、定向耦合器、三销钉调谐
功率必须有效馈入并被等离子体吸收。等离子体相当
[6] 器、过渡脊波导和微波窗等。通过各种传输器件的组
于微波传输终端的负载 ,因此微波功率源与ECR 离
合来实现微波的优化传输,降低反射功率。从微波源
子源之间的微波传输与馈入设计至关重要。目前大多
到调谐器,均是标准工业产品;过渡波导和微波窗,
数强流质子源的微波过渡匹配段大都采用脊波导,也
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