TEM样品制备新方案RES102多功能离子减薄仪.PDFVIP

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn TEM 样品制备新方案：RES102 多功能离 子减薄仪 Leica EM RES102 多功能离子减薄仪通过离子枪激发获得离子束， 以一定入射角度对样品进行轰击，以去除样品表面原子，从而实现对 样品的离子束加工。Leica EM RES102 多功能离子减薄仪主要功能为： 对无机薄片样品进行离子减薄，使得薄片样品可被透射电子穿过，从 而适宜TEM 透射电子显微镜观察；对无机块状样品进行离子束抛光、 离子束刻蚀，样品表面离子清洗及斜坡切割，便于 SEM 扫描电子显 微镜观察样品内部结构信息。 图1. Leica EM RES102 多功能离子减薄仪 制备TEM 样品的第一步流程是用Leica TXP 精研一体机对固体样 品进行预处理，如图2 所示。首先将样品粘牢在样品台（铝台）上， 然后用 EM TXP 精研一体机空心钻冲钻获得直径3mm 圆柱体。对第 一面进行研磨抛光。重新取一铝台，用铣刀将其表面铣平。将制备好 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 的样品第一面粘在铣平了的铝台上。对第二面进行切割、研磨抛光。 图2. 使用Leica TXP 精研一体机对固体样品进行预处理 制备TEM 样品的第一步流程是用RES102 多功能离子减薄仪进行 减薄，如图3 所示。小心取出DN3mm 样品薄片，放入EM RES102 中。 EM RES102 对样品薄片进行离子减薄。在EM RES102 中，直到离子束 将样品薄片击穿，则穿孔周围为薄区。在 TEM 中观察样品薄区，获 取TEM 图像。 图3. Leica EM RES102 多功能离子减薄仪加工薄区进行TEM 观测 为了支持多样化的应用要求，Leica EM RES102 多功能离子减薄仪 可以装配各种样品台，以适用于TEM, SEM 以及LM 样品制备。如图 4 所示，SEM 样品台适用于SEM 和LM 样品的离子清洁。斜坡样品台 适用于切割样品获得纵截面或斜截面。薄样品台可以加持尺寸较薄的 样品。TEM 样品台用于单面或双面减薄。TEM 冷冻样品台适用于制 备温度敏感型样品。FIB 清洁样品台适用于清洁 FIB 样品，减少表面 无定型非晶层。 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 图4. Leica EM RES102 多功能离子减薄仪配置的样品台 应用以上多样化的样品台，Leica EM RES102 多功能离子减薄仪可 以满足SEM 样品，TEM 样品，以及 FIB 样品的各种特殊要求，从而 得到广泛的应用。如图5 所示，用多功能离子减薄仪对样品离子束减 薄、清洁，界面切割，抛光以及衬度增强，可以极大满足您对应用需 求的多样化和便利性。图(5-a)为经过多功能离子减薄仪减