SiliconMicrostructuresIncSMI专业生产各种硅微结构压力传感器.PDFVIP

Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 专业生产各种硅微结构压力传感器，产品 广泛用于汽车制造、医疗设备和工业生产。SMI不仅设计、生产各类微压传 感器，并且提供集成化传感器和基于 MEMS 的传感器系统代工服务。 作为高性能硅压力传感器和加速计的专业生产厂家，SMI 成立于1991年。起 初公司专业生产硅低压传感器，该产品精度至今仍为同类产品的20倍以上， 如今 SMI 已拥有众多系列的硅微结构传感器，为各类OEM 客户提供质优价 廉的产品。 2001年4月该公司被专门生产汽车用ASIC 的Elmos半导体公司收购。通过集 成 Elmos 的ASIC技术和SMI的6 英寸晶圆生产工艺，推出高性能、系统化、 低价位的新一代完整片上系统微结构传感器。 2002年8月SMI 收购了 IC Sensors 的晶圆部，03年SMI设计出新型6英寸晶 圆生产设备，该设备拥有先进的深度离子刻蚀(DRIE)和等离子焊接能力。 压力传感器：除提供各种测量范围的压力传感器，SMI 主要生产超低压 (10 mBar/0.15 PSI) 传感器. 大量 OEMs 厂家均选用 SMI 裸片和封装传感器， SMI 目前提供超小型、带数字信号修正的裸片。 加速计：SMI 的加速计主要为高性能集成化和超小型结构。 MEMS ：SMI 专业设计和生产各种微机电系统 (MEMS), 包括超小型导管传 感器、应变传感器、湿度传感器、加速计、定制压力传感器等等。 定制产品：SMI 还为特殊用途用户提供定制产品。 信号处理和系统化组件：SMI 提供各种信号处理模块（包括传感器芯片组及 集成芯片） 微型化封装：SMI 开发出新型用于小输出线集成电路的封装产品，该封装可 以使传感器更易于安装在印刷电路板上。 SMI 硅微压传感器 压阻式传感器：采用集成电路制造技术在半导体基片上直接生成扩散电阻并 组成电桥，半导体材料通常为硅材料，所以压阻式传感器又常称为扩散硅压 力传感器。由于采用了集成电路生产技术，这类传感器非常适合大批量生 产，成本也很低，压阻式传感器面临的主要问题是受温度影响较大。 SMI硅微压传感器：为价位低、线性度在0.1%到0.65%范围内的硅微压力传 感器，最低满量程为0.15psi(1KPa) 被列为超低压力测量范围。其以硅为材料 制成，具有独特的三维结构，采用轻细微机械加工和多次蚀刻制成惠斯通电 桥于硅膜片上，当硅片上方受力时产生变形，电阻产生压阻效应而失去电桥 平衡，输出与压力成比例的电信号。硅微传感器是当今传感器发展的前沿技 术，其基本特点是敏感元件体积为微米量级，是传统传感器的几十、几百分 之一。在工业控制、航空航天领域、生物医学等方面有重要的作用，如飞机 上利用可减轻飞机重量，减少能源。另一特点是能敏感微小被测量，可制成 血压压力传感器。 特性： 1 ）无需校准即能提供线性度优于1%的传感信号，因此是一种性能优越、全集成 化的单片硅器件。 2 ）使用了一套专门设计的软件由计算机对传感器作静态和动态仿真，并进一步 计算压力传感器芯片的尺寸，使灵敏度和线性度满足预定要求。在生产方 面，官方采用双板、CMOS或EPROM等成功的工艺，从而提高器件的可靠性、 增加成品率并降低成本。 应用领域： 工业：• 常规加温，通风、空调系统(HVAC) 和 VAV 控制器• I/P 和 P/I 转换器 汽车制造：• 轮胎压力• 引擎控制• 气压测定 医疗设备：• 呼吸器，通风机，氧气瓶, 制氧机• 风速计• 血压计 常规设备：• 家用电器• 水下呼吸器和调节器• 高度计 产品应用范围 硅压阻式传感器全固态、体积小、重量轻、价格低廉，随着集成电路制造技 术极微机械加工技术的不断发展，其产品性能会逐步提高，此产品在智能机 器人、航空航天、生物医学工程、汽车工业及家用电器等众多领域有着很高 的应用前景。 SMI5000 系列传感器的前景在于它的高灵敏度、极低廉的成本及通用性。基 本传感器结构还可改制成不同类型的传感，这种功能将开辟新的应用领域。 该种性能技术的影响是十分深远的，实际上开创了一个无所不能的压力传感 器的新市场。应用遍及医疗电子学到HVAC各个领域。 在医疗领域，目前使用的压力传感器是非昂贵的，超低压传感器可用于血压 测量及重点看护病人的呼吸监测。在通风与供暖系统中