基于柔性犕犈犕犁皮肤技术温度传感器阵列的研究-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ６ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ １２ Ｄｅｃ．２００５ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０６０６７４０７ 　 基于柔性犕犈犕犛皮肤技术温度传感器阵列的研究 肖素艳，车录锋，李昕欣，王跃林 （中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室，上海 ２０００５０） 摘要：采用 ＭＥＭＳ皮肤技术，在聚酰亚胺柔性衬底上成功研制出８×８阵列铂薄膜热敏电阻温度传感器。实验采用热氧 化硅片为机械载体，以便于旋涂液态聚酰亚胺柔性衬底上器件的加工。最后用湿法腐蚀方法将柔性器件从载体上释放 下来。试验表明聚酰亚胺衬底上的铂薄膜热敏电阻与温度的变化具有良好的线性，其电阻温度系数达 ／ 。与 ０．００２３℃ 固态聚酰亚胺膜衬底相比，采用旋涂液态聚酰亚胺解决了制备中遇到的两大主要困难：其一，消除了涂聚酰亚胺衬底与 载体界面之间的气泡，聚酰亚胺衬底表面能保持良好平整度；其二，制备过程中由于热循环而使柔性衬底产生的热膨胀 明显减小。这种柔性温度传感器阵列易贴于高曲率物体表面以探测小面积温度场分布。 关 键 词：皮肤技术；聚酰亚胺；柔性衬底；铂薄膜电阻；温度传感器 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＰ２１２．１１ Ａ 　　 犃狋犲犿 犲狉犪狋狌狉犲狊犲狀狊狅狉犪狉狉犪 犫犪狊犲犱狅狀犳犾犲狓犻犫犾犲犕犈犕犛狊犽犻狀狋犲犮犺狀狅犾狅 狆 狔 犵狔 ， ， ， ＸＩＡＯＳｕａｎ ＣＨＥＬｕｆｅｎ ＬＩＸｉｎｘｉｎ ＷＡＮＧＹｕｅｌｉｎ ｙ ｇ （ ， 犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犜狉犪狀狊犱狌犮犲狉犜犲犮犺狀狅犾狅 犛犺犪狀犺犪犻犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犕犻犮狉狅狊狊狋犲犿 狔 狔 犳 犵狔 犵 犳 狔 ， ， ， ） 犪狀犱犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅 犛犮犻犲狀犮犲狊 犛犺犪狀犺犪犻２０００５０犆犺犻狀犪 犳 犵狔 狔 犳 犵 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａ８×８ａｒｒａ ｌａｔｉｎｕｍｆｉｌｍｒｅｓｉｓｔｏｒｔｅｍ ｅｒａｔｕｒｅｓｅｎｓｏｒｏｎ ｏｌｉｍｉｄｅｆｌｅｘｉ