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制绒原理 对于晶体硅,由于各个晶面的原子密度不同,与碱进行反应的速度差别很大,也就是我们通常说的(100)面(111)面的腐蚀速率，从而在表面形成类似 “蜂窝“金字塔”形状的绒面。 单晶制绒酸洗工艺流程 工艺步骤 本工艺步骤是第一步粗抛光去掉硅片的损伤层。去除厚度在20-25um.第二步细抛光，表面产生出部分反射率较低的织构表面。如果含有[100]晶向的晶粒，就可以长出金字塔体状的绒面。第五步是通过盐酸中和残余的氢氧化钠，去除金属离子。第七步氢氟酸络合掉硅片表面的二氧化硅层，化学反应方程式为：SiO2+HF=H2[SiF6]+2H2O 注意事项 注意事项： 在工序1和3中氢氧化钠溶液与硅片反应时会有碱蒸气产生，故设备运行时请关闭有机玻璃门。 盐酸是挥发性强酸，不不要去闻其味道。 氢氟酸会腐蚀玻璃，故不与玻璃器械接触，也不要去闻氢氟酸的味道。 如果酸或碱不小心溅入眼内或溅到脸上，请立即打开洗脸洗眼池上盖冲洗。 所用液体性质 NaOH的性质： 氢氧化钠(NaOH)，俗称烧碱、火碱、苛性钠，常温下是一种白色晶体，具有强腐蚀性。易溶于水，其水溶液呈强碱性，能使酚酞变红。氢氧化钠是一种极常用的碱，是化学实验室的必备药品之一。它的溶液可以用作洗涤液 有强烈的腐蚀性，有吸水性，可用作干燥剂。 HF的性质： .氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，纯粹的无色，比重0.98，比水略轻，沸点19.4℃，极易