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第卷第期光学精密工程年月节流孔特性对抑制气浮工作台自激振动的效果研究里见忠笃东京电机大学章亚男上海大学精密机械工程系上海摘要以前期研究工作为基础分析了气浮式工作台由于微小自激振动的产生而引起其定位精度劣化的内在原因提出了通过减小节流孔孔径改变节流孔结构形式等方法来抑制工作台自激振动的技术方案并对其进行了理论计算和实验验证结果表明采用这种方法可以取得良好的效果关键词气浮导轨自激振动小孔节流气腔引言气浮工作台是轻载精密仪器和设备的新型线性传动导向装置由于其高精度低摩擦性能在大规模集成电路制造微机械加
第 6 卷 第 5 期 光学 精密工程 . 6, . 5
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1998 年 10 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G O ctob er , 1998
节流孔特性对抑制气浮工作台
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