电子束蒸镀机1ElectronBeamEvaporation1-微奈米科技研究中心.PDF

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2018-02-18 发布于天津
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电子束蒸镀机1ElectronBeamEvaporation1-微奈米科技研究中心

NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page1 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page1 電子束蒸鍍機 1 （Electron Beam Evaporation 1 ） ※ 此圖為本中心實驗室電子束蒸鍍機之外貌圖本文件及文件之內容屬國科會南區微系統研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Electron Beam Evaporation 1 12345-678 1 鄧吉雄 2003/06/12 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page2 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page2 目錄一、前言 ………………………………………………………...3 二、原理 ………………………………………………………...3 三、儀器型號及規格 …………………………………………...6 四、功能說明…………………………………………………...7 五、操作程序 ………………………………………………….14 鍍膜步驟( 完整實作)…………………..…….………………21 目前中心擁有的靶材種類 …………………….………….…28 參考文獻………………………….……………………….…29 本文件及文件之內容屬國科會南區微系統研究中心所有，謹供列印閱讀，未經許可，請勿以任何形式翻製抄襲。 This document is the property of the NSC Southern Region MEMS Research Center. You are very welcome to browse and print out the document. It is extremely illegal to copy any part of this document in any forms without permission! Document Type Title Document No. Edition Editor Date SOP Electron Beam Evaporation 1 12345-678 1 鄧吉雄 2003/06/12 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page3 NCKU Micro-Nano Technology Center/Southern Region MEMS Center Page3 一、前言所謂的物理氣相沉積（ physical Vapor Deposition ，通常簡稱為PCD ），就是以物理現象的方式，來進行薄膜沉積的一種技術。在半導體製程的發展上，主要的 PVD 技術，有蒸