电子能谱学电子能量损失谱EELS-仪器信息网.PDF

电子能谱学 第12讲 电子能量损失谱（EELS） 朱永法 清华大学化学系 2005.12.19 EELS历史 • 在1929年由Rudberg发现利用一特定能量的电子束施加在 欲测量的金属样品上，然后接收非弹性（亦即是有能量损 失）的电子，发现会随着样品的化学成分不同而有不同的 损失能量，因此可以分析不同的能量损失位置而得知材料 的元素成份。 • 在50年代就已经开始流行； • 60年代末70年代初发展起来的高分辨电子能量损失谱 （HREELS），在电子非弹性碰撞理论的推动下，由于其 对表面和吸附分子具有高的灵敏性，并对吸附的氢具有分 析能力，更重要的是能辨别表面吸附的原子、分子的结构 和化学特性； 2 电子能量损失谱现象 电子能量损失谱现象 • 电子能量损失谱是利用入射电子引起材料表面原子芯级电子电 离、价带电子激发、价带电子集体震荡以及电子震荡激发等，发 生非弹性散射而损失的能量来获取表面原子的物理和化学信息的 一种分析方法。 • 电子在固体及其表面产生非弹性散射而损失能量的现象通称电子能量损失 现象； • 只有具有分立的特征能量损失的电子能量损失峰才携带有关于体内性质和 表面性质的信息； • 平坦肥大的峰或是曲线的平坦部分只反映二次电子发射，而不反映物体的 特性； 3 • 弹性散射过程； • 电子气的激发过程； 体等离子体 表面等离子体 • 特征激发损失； 2 价电子激发 1 3 内层电子激发 • 非弹性损失； 多次损失，热损失等 • 声子激发 1代表等离子体振荡；2代表价带电子跃迁； 晶格，吸附分子等 3代表芯级电子激发 入射电子与试样相互作用的示意图 4 电子能量损失过程 电子能量损失过程 • 激发晶格振动或吸附分子振动能的跃迁，属于声子激发 或吸收，损失能量在几十至几百meV范围； • 体等离子体或表面等离子体（电子气）激发，或价带跃 迁，能量损失值在1~50eV左右； • 芯能级电子的激发跃迁，能量在102～103eV量级