钝化注入平面硅PIPS探测器.PDFVIP

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2018-06-06 发布于天津
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钝化注入平面硅PIPS探测器.PDF

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钝化注入平面硅PIPS探测器

钝化注入平面硅 (PIPS) 探测器特性描述 Canberra 的钝化注入平面硅 ( PIPS)  离子注入触点探测器是现代半导体  SiO2钝化工艺产品。在大多数  低漏电流应用中，这种探测器  低噪声已经取代了硅表面位  薄窗 SSB 垒（）探测器和扩  可清洗 DJ 1960 散注入（）探测器。这两种探测器水平仍然停留在  烘烤 100℃ PIPS SDB DJ 年水平上，没有进一步发展。探测器比和型探测器具有一系列优点： 1、所有焊接边缘地是埋置的，不需要也不使用环氧边缘密封层。 2、触点都是离子注入的，形成精确、薄和阶跃结的焊接，提供更好的Alpha分辨率。 3、入口窗是稳定和牢固的，可以方便和可靠地清洗。 4、 SSB DJ 1/8 1/100 漏电流一般是和探测器的到。 5、 SDB DJ 死层（窗口）厚度与可比的或探测器相比小。 6、 100 标准的探测器烘烤到 ℃ －特殊的型号温度还更高。 PIPS探测器是使用针对确定的设备几何条件的光刻技术的平面工艺生产的。使用专利技术精确地控制氧钝化，使用离子注入技术形成产生低逆向漏电流和使用薄入口窗所必需的精确焊接控制。光刻技术可用于能够放入直径160mm范围内的几乎任何几何条件。包括多部件矩形