[小学教育]3薄膜的制备2蒸镀.ppt

例：镀银薄膜 银是最容易蒸镀的的物质之一 2、安装衬底； 3、真空室抽气 机械泵----扩散泵 p=10-4Pa 4、移动挡板，使蒸发的银原子不直接到衬底，而直接到达膜厚计；衬底加热； 5、慢慢增大蒸发源电流；（预热） 蒸发源，银处于赤热状态，银熔化形成颗粒。--继续升高温度—银球状颗粒表面浮现“渣斑”，并不停地旋转。 由于附着在蒸发源、银上的气体放出使真空度降低。（除气）为了减小银的损耗，经过适当时间后，减小蒸发源电流，使蒸发量减小到膜厚计测量的灵敏度之下，直到真空度恢复。 6、增大蒸发源的电流，使银的蒸发率达到希望值。打开挡板，使银原子直接到达衬底。读出膜厚计的指示值，当衬底上薄膜蒸镀到预计膜厚时关闭挡板，切断蒸发源电流。 7、使衬底缓慢降温。待到衬底温度降到室温，打开真空室，取出衬底。 步骤： 1、放入蒸发物质---银； 0、清洗衬底 5）合金的蒸发与蒸镀 蒸发 合金中原子间的结合力小于化合物中不同原子间的结合力，因此合金中各元素原子的蒸发过程可以看作各自独立的过程，就像它们在纯元素蒸发时一样。 不同的金属蒸发速度不同，合金成分蒸发时随时间而变化。因此，薄膜的成分亦随时间改变。 闪蒸蒸镀法： 把合金做成粉末，均匀的落入加热器中，使其一个一个在一瞬间完全蒸发从而保证薄膜的组分与原料的组分一致。 双蒸发源蒸镀法： 6）化合物的蒸发、与蒸镀 蒸发：