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MV_RR_CNJ_0037 透射电子显微镜检定规程 1. 透射电子显微镜检定规程的说明 编号 JJG(教委)011-1996 名称 (中文) 透射电子显微镜检定规程 (英文) Verification regulation for transmission electron microscope 归口单位 国家教育委员会 起草单位 国家教育委员会 主要起草人 王永瑞 张大同 批准日期 1997 年 1 月 22 日 实施日期 1997 年 4 月 1 日 替代规程号 无 适用范围 透射电子显微镜( 以下简称透射电镜)是研究固态物质显微形貌、晶 体结构和测量微小物体的尺寸及形状的仪器，在材料、地矿、生物和 医学等部门以及工农业生产中广泛应用。 本规程适用于新安装、使用中和维修后的各类透射电镜的检定。 主要技术要求 1.外观要求 2.安装条件 3.检定环境 4.检定设备 5.检定项目和检定方法 是否分级 无 检定周期(年) 3 附录数目 2 出版单位 科学技术文献出版社 检定用标准物质 相关技术文件 备注 2. 透射电子显微镜检定规程的摘要 2 范围 透射电子显微镜( 以下简称透射电镜)是研究固态物质显微形貌、晶体结构和测量微小物 体的尺寸及形状的仪器，在材料、地矿、生物和医学等部门以及工农业生产中广泛应用。 本规程适用于新安装、使用中和维修后的各类透射电镜的检定。 2.1 原理 透射电镜是以波长极短的电子波作为照明，用电磁透镜聚焦成像，具有高的分辨能力和 放大倍率的电子光学仪器。 2.2 构成 透射电镜由电子光学系统(简称镜筒) 、电气系统( 电磁透镜电源、电子枪高压电源和安全 保护电路等)和真空系统等部分组成。 3 计量单位 3.1 如速电压kV 3.2 真空度Pa 3.3 长度mm 、nm 3.4 X射线计量率 μGy/h 4 计量要求 4.1 计量特性 图像放大倍率示值误差不大于±10％。 图像畸变量不大于±5 ％。 4.2 等级评定 根据透射电镜的加速电压、分辨能力、放大倍率、真空度、样品污染和漂移率，见表1～ 3，透射电镜分为四等，即高压电镜、高分辨电镜、普通电镜和简易电镜。 表 1 加速电压、分辨能力和放大倍率 等 级 加速电压(kV) 分辨能力(nm) 放大倍率 优于0.204( 晶格像) 高压电镜 ≥200 ≥300000 优于0.45(点像) 优于0.204( 晶格像) 高分辨电镜 ≥100 ≥300000 优于0.45(点像) 续表 等 级 加速电压(kV) 分辨能力(nm) 放大倍率