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清华大学化学系 表面与材料实验室 材料分析化学第9讲扫描探针显微镜 朱永法 清华大学化学系 2003.12.2 扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope，SPM 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscope, STM 原子力显微镜 Atomic Force Microscope, AFM 激光力显微镜（LFM） 磁力显微镜（MFM） 静电力显微镜以及扫描热显微镜等 发展历史 1972年发展了场发射形貌仪，针尖离样品表面10nm，高偏压，测量场发射电流； 1982年解决了维持狭缝稳定的技术；高分辨定位和扫描技术；针尖与样品距离控制技术。 1982年第一台扫描隧道显微镜问世。它的问世，使人们第一次能够实时地观察到原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理化学性质，对表面科学、材料科学、生命科学和微电子技术的研究有着重大的意义和广阔的应用背景，被科学界公认是表面科学和表面现象分析的一次革命。 扫描探针显微镜原理 控制探针在被检测样品的表面进行扫描，同时记录下扫描过程中探针尖端和样品表面的相互作用，就能得到样品表面的相关信息。 显然，利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于控制扫描的定位精度和探针作用尖端的大小（即探针的尖锐度） STM的特点 可以在环境气氛下进行如：大气，真空，溶液，反应性气氛等； 可