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成功应用 高精度测量仪器 LCD PDP行业 成 功 应 用 高精度测量仪器 1 2 3 检查高精度XY工作台的 测量PDP隔层的高度和 测量用于LCD面板的起 停止精度 形状 偏振片的芯片的形状和 ● LK-G系列能测量诸如光石版机等 ● LK-G系列能测量等离子显示器表 深度 高精度工作台的停止精度。 面的隔层 （分隔墙）。 ● LK-G系列能测量用于LCD面板的 ● 它能用±40mm的大范围和0.5µm ● 它能以0.01µm的分辨率测量目标。 起偏振片的芯片的形状和深度。 的高分辨率测量大型板上工作台 ● 它能精确地测量微型隔层（分隔 ● 由于监视器输出功能是以波形显 的停止精度。 墙）的形状而不会受到目标色彩的 示目标的形状资料的，您能在监视 影响。 屏幕上检查目标的深度和形状。 4 5 6 测量彩色滤光片上RGB 监控LCD基板检验机的 测量触控面板的间隙 像素的高度 聚焦 ● LK-G系列能测量用于LCD基板的 ● LK-G系列能监控安装在LCD基板 ● LK-G系列能测量粘合的触控面板 彩色滤光片上RGB像素的高度和 检验机表面的大功率物镜的高度。 的间隙。 表面形状。 ● 有了ABLE （活动平衡激光控制引 ● 它能精确地测量透明目标的厚度和 ● 它能以0.01µm的分辨率测量目标。 擎）功能，它能以0.01µm的高分辨 间隙。 率稳定地测量目标而不会受到表 ● 它能不受色彩的影响测量目标。 面状况的影响。 而且， 20µm的超小光点能测量到 最微小的像素高度。 LCD PDP行业 LCD PDP行业 7 8 9 测量LCD基板密封材料的 检查磨光用滚筒的位置 控制配料机喷嘴的高度 高度/ 区域 ● LK-G系列能测量密封材料的高度 ● EX-V系列能在调换滚筒时检查装 ● LK-G系列能控制LCD封装配料机 来监控粘合LCD玻璃时的用量。 置的位置。 的高度。 ● 它能高精度稳定地测量湿的目标。 ● 它不仅能控制滚筒的位置，还有滚 ● 用资料储存功能测量整个LCD基 筒偏心率，非接触式测量的精度达 板的变形能有效地控制喷嘴的高 到0.1µm。 度。 10 11 测量非旋转式涂布机的 LCD基板的定位 间隙 ● 调整非旋转式涂布机的间隙直接 ● LS系列能给用于光石版机的LCD 关系到