超精密加工装备及其关键部件.pptVIP

空气静压导轨有很高的刚度和运动精度 超精密进给机构的条件 (1)不干扰或降低导软的直线世纪精度； (2)进给速度均匀，迟绪平稳： (3)定位精度高； (4)可实现工作所需要的高速进结或微速坦给 (5)精度寿命和使用寿命高； (6)维护、保养方便。 进给驱动系统 进给机构的种类与特性 (1)滑动丝杠进给机构 (2)滚动丝杠 (3)液体静压丝杠 (4)空气静压丝杠 (5)静压油缸进给机构 (6)直流线性电机进给 （7）磨擦驱动 丝杠的螺距误差与积累误差对进给速度的均匀性和定位精度有直接的影响。精度：螺距误差：1 mm 累计螺距误差2mm 滑动丝杠进给机构 进给驱动系统 精密数控系统 滚珠丝杆副驱动 直流伺服电机或 交流伺服电机 进给系统的驱功元件 高精密级的滚珠丝杠付对以做到相邻螺距误差0.5-1 mm 。 滚珠丝杆副驱动 滚动丝杠 液体静压丝杠 静压丝杠的原理与静压主轴的相同。 直线驱动进给系统 直线驱动进给系统（续） 直线伺服电动机驱动的进给单元 直线电动机进给驱动的主要优点 速度高，最大进给速度可达80—180m／min 加速度大，加速度可高达2g—l0g 定位精度高，高达0.1-0.01?m 行程不受限制。 直线电动机的主要种类： 直流直线电动机 交流永磁（同步）直线电动机 交流感应（异步）直线电动机 直线电动机的基本结构 直流直线电动机的基本结构 交流永磁直线电动机的基本结构 1） 精微进给和粗进给应分开 2)运动部分必须是低摩擦和高稳定度的 3）末级传动元件必须有很高的刚度 4)微量进给机构内部联接必须是可靠联接 5)工艺件好，容易制造。 精密和超精密微位移机构应满足下列设计要求 微量进给机构 (1)磁致伸缩微量进给机构 具有磁致伸缩效应的铁、帖、镍等合金，长度将随磁场强度变化而变化， 式中 λ——材料的磁致伸缩系数 (2)电致伸缩微量进给机构 某些晶体如石英单晶铂料及压电陶瓷等的压电效应来实现微量进给 (3)热膨胀微量进给机构 (4)弹性变形微量进给机构 超精密加工环境 超精密切削 * * 超精密加工装备及其关键部件 主讲：崔仲鸣 1．给定的精度指标(包括形位公差、尺寸精度表面粗糙度和加工变质层等) 2．加工机械的直线运动和回转运动精度； 3．加工机械的定位精度(包括夹具的定位精度)； 4．加工机械、工具及工件的刚度； 5．加工机械、工具、工件的振动； 6．加工机械、工具、工件的热变形； 7．工具的尺寸及形状精度； 8．加工机械、工具、工件的磨损和磨伤； 9．工具、工件的定位安装精度； Io．工件在前道工序加丁中的尺J、形状的 决定加工精度主要因素 11 工件材质及其物理、机械性能； 12 工件的形状和尺寸 13 工件材料的不均匀性； 14 加工单位的大小(去陈、结合、变形，等)； 15 测量技术及数据处理(包括尺寸、形状、粗粮度、 性能的测试） 16 加工者的技术熟练程度； 17 加上环境的力、振动、热．清洁程度 加工的人机系统 (1)回转主轴和回转工作台的精度必须满足加工精度的要求，而且要具有与加工条件相适应的足够的刚度； (2)直线导轨应具有与加工精度相适应的直线进给精度，而且不产生爬行及微小的振动； (3)进给机构要满足加工精度的要求，而且进给平稳、均匀、没有振动， 超精密加工装备及其关键部件 精密主轴部件 精密主轴部件是超精密机床保证加工精度的核心 主轴要求达到极高的回转精改，转动平稳，无振动．其关键在于所用的精密轴承。 (1)静态和动态回转精度高，振摆小； (2)主轴的精度寿命长； (3)主轴本身及驱动系统术不产生振动，或振动极小，而且震动的衰减特性好； (4)应具有与使用条件相匹配的、足够大的刚度和负荷容量； (5)发热少而且热平衡的性能好 (6)维护、保养方便。 滚动轴承 优点标准化，有互换性 容易购置 滚动轴承的内圈与外圈通过钢球或滚柱相接触 缺点接触振动 袁减性能降低 精度寿命难以保证 液体静压轴承主轴 精密/超精密加工设备精密主轴部件 液体静压轴承回转精度很高(精度0.1mm) 转动平稳．无振动，有较高的刚度和回转精度 液体静压轴承 压力油通过节流阀进入轴承偶合面间的油腔。使轴在轴套内悬俘，不产生固体摩擦 当轴受力偏歪时．偶合面间泄油的间隙改变，造成相对油腔的油压不等，压力差将推动轴回向原来的中心位置； 1)液压油温度升高、在不同转速时温度升高值不等。温度升高将造成热变形，影响轴的精度。 2)静压油回油时将空气带人油池．形成微小气泡悬浮在油中．不易徘出．因此将降低液体静压轴承的刚度和动特性。 液体静压轴承的缺点 2)静压轴承用油经过