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第 六 章 变磁阻式传感器 §6.1 概 述 §6.2 电感式传感器 §6.3 差动变压器式传感器 §6.4 电涡流传感器 6.1 概述 利用磁路磁阻变化引起传感器线圈的电感（自感或互感）变化来检测非电量的机电转换装置。 电感式： L变化 差动变压器式： M变化 电涡流式： L、M变化 一、磁力线的分布规律 磁力线是一簇封闭的无头无尾的永不相交的曲线 磁力线总是走磁阻最小的路径 磁力线穿出或进入导磁体表面时垂直表面（但有线圈的地方不垂直） 每个封闭的磁回路都要有匝链线圈 当两磁极表面平行且气隙很小时，磁场可看作是均匀的，而且磁力线呈平行直线 二、磁阻与磁导 三、等效磁路 §6.2 电感式传感器 一、简单电感传感器 1、简单电感传感器的输出特性 可见： △L/L∝f(△δ）为非线性，而且△δ/ δ↑，非线性增大。 非线性与测量范围的要求相矛盾，一般取△δ/ δ=0.1～0.2 减小δ0，增大灵敏度。 △δ↓与△δ ↑引起的△L的变化大小不同，且△δ越大， △L相差越大。 2、电感传感器的等效电路分析 铜损电阻（ Rc ）： 铁芯的涡流损耗电阻（ Re ）： 磁滞损耗电阻（ Rh ）： 损耗因素D与品质因素Q 寄生电容（C）： 可见： Re’与L有关， (Re /wl)??? Re’wL’，减小铁损 采用迭片式 采用ρ大的铁氧材料 考虑线圈间分布电容C后的等效电路： 所以： 寄生电容C使得Rp ?、 Lp? 品质因素 有效灵敏度 3、简单电感传感器的测量线路 所以： δ≈0时，RF不能忽略，所以有一定的起始电流。 δ↑↑， RC不能忽略，存在Im 不适于精密测量系统，可用于继电装置 应用：电感式压力传感器 小气隙电感传感器与小气隙电容传感器的比较 相同之处： 表示形式：非线性分析、差动结构等 电容器有电场边界问题，电感有磁场边界问题 输入较小位移量 不同之处： 电容小，抗干扰能力差；电感大，抗干扰能力强 电容激励频率很高；电感激励频率低 电容高阻抗 电感输出信号中包含高次谐波，有零位输出 电容传感器的动态响应好，电感传感器的动态响应不好。 变面积式 螺管式电感传感器 变间隙型、变面积型、螺管型电感式传感器的比较 变间隙型灵敏度最高，且灵敏度随气隙的增大而减小；非线性误差大，量程有限而且较小，传感器制作装配比较困难。 变面积型灵敏度比变间隙型小，理论灵敏度为一常数，因而线性度好，量程较大。 螺管型量程大，灵敏度低，结构简单，便于制作，因而应用广泛。 二、差动式电感传感器 1、结构特点： 交流电桥 2、工作原理 3、E型差动电感传感器的输出特性 4、差动式电感传感器的优点 改善非线性 提高灵敏度 受环境（温度变化、电源波动、外界干扰）影响小 电磁吸力小（相互抵消） 零位电压小 四、误差分析 电源电压波动影响（幅值、频率）： 电源波动直接影响电感传感器的输出 电源波动引起铁芯B和μ的变化 U过大使得B饱和出现畸变 频率变化引起感抗变化 温度变化影响： 几何尺寸改变 线圈电阻、铁芯磁导率变化 特性的非线性： 原理误差 限制位移量减小非线性 相移： 零位输出 零位电压产生的原因 差动式导磁体的几何尺寸不对称 线圈电气参数不相等 衔铁不在中间位置 导磁体饱和，工作在磁化曲线的非线性段 在电源中含有高次谐波 线圈寄生电容、线圈与外壳之间的分布电容的影响 高次谐波的产生 后果与措施 后果： 降低精度与分辨率 易使放大器提早饱和 措施： 串联电阻：消除基波零位电压 并联电阻：消除高次谐波零位电压 并联电容：消除基波高次谐波正交分量 差动电感传感器测量电路（1） - 交流电桥 实际输出特性曲线 （2）相敏交流电桥 （3）变压器电桥 §6.3 差动变压器式传感器 一、工作原理和结构 等效电路 互感原理 二、螺管型差动变压器 线圈组合： 骨架：圆柱形绝缘材料。 线圈：采用高强度漆包线，环氧树脂密封，采用多段式，两个次级线圈电气参数完全相同。 衔铁、铁芯：采用高电阻率、高导磁率、饱和磁感应强度大的材料。 2、输出特性 讨论： 衔铁在中间位置时： 衔铁向上： 衔铁向下: 提高差动变压器传感器灵敏度 增大差动变压器尺寸 选择适当的匝数 选择较高的激励频率 增大铁芯直径 适当提高电源电压 频率特性 低频时： 中频时： 高频时：趋肤效应使R ↑↑ ，分布电容↑↑ 趋肤效应 趋肤效应与电磁屏蔽 趋肤效应的应用 线性范围 约为线圈骨架长度的1/4至1/10 在线性范围内： 输出电压与位移成线性关系 相位角为一定值 温度特性 机械部分的尺寸发生变化 影响初级线圈的阻值 一种温度补偿电路： 零位电压 两个次级线圈的电气参数不相同 导磁体几何形状、尺寸不对称 导磁体磁饱和 电源中含有高次谐波 采用线路