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喷墨打印次数对SnO_2气敏薄膜性能的影响
第 19 卷 第 4 期 郑 州 轻 工 业 学 院 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Vol . 19 No . 4
2004 年 11 月 JOURNAL OF ZHEN GZHOU INSTITUTE OF LIGHT INDUSTRY (Natural Science) Nov. 2004
( )
文章编号 :1004 - 1478 2004 04 - 0007 - 04
喷墨打印次数对 SnO2 气敏薄膜性能的影响
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沈文锋 , 赵 岩 , 张彩碚
( 1. 中国科学院 金属研究所 ,辽宁 沈阳 110016 ;
2 . 东北大学 理学院 ,辽宁 沈阳 110004)
摘要 :利用溶胶 - 凝胶法配制了 SnO2 前驱溶液墨水 ,采用喷墨打印技术在金叉指氧化铝基片上制
备了不同打印次数的 SnO2 气敏薄膜元件 ,通过 XRD ,SEM 对薄膜进行结构分析和形貌观察 ,研究了
喷墨打印次数的改变对薄膜电阻及其气敏性能的影响. 实验表明 ,增加薄膜喷墨打印次数可降低薄
膜电阻 ,提高 SnO2 薄膜对乙醇 、丙酮气体的灵敏度 ,但会降低对 NOx 的灵敏性.
关键词 :喷墨打印;二氧化锡 ;气敏薄膜
中图分类号 :TP2 12 . 2 ;TB43 文献标识码 :A
The properties of SnO2 gassensing f il ms
prepared by different inkjet printing times
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SHEN Wenfeng , ZHAO Yan , ZHAN G Caibei
( 1. Inst . of Metal Research , Chinese Academy of Sci . , S heny ang 110016 , China ;
2. School of Sci . , N ortheastern Univ . , S heny ang 110004 , China)
Abstract :SnO ink was prepared by solgel method , and SnO gassensing thin films with different printing
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times were fabricated by printing ink onto the Al O ceramic substrates with interdigital gold electrodes. The
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structure and surface morphologies were investigated by SEM and XRD . The influence of printing
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