单晶炉操作规程及技术规范.docVIP

第二章 单晶炉操作规程及技术规范 1、 目的 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。 2、 适用范围 适用于华盛天龙新、老80、85型单晶炉的操作。 3、 单晶炉操作工艺流程 作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料投炉→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→降功率→取肩测电阻→掺母合金→引晶、缩细颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却 4、 主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢盆和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。 B. 热态检漏 a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却3.5小时（80型单晶炉）、3.5小时（85型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门.主、副室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min），开始抽高真空，并作时间记录。4.5小时后取单晶棒