电镜测试中常用的元素分析方法-分析测试中心.PDFVIP

电镜测试中常用的元素分析方法 元素分析在电镜分析中经常使用，随着科学技术的发展，现代分析型电镜通过安装 X 射线能谱、能量过滤器、高角度环形探测器等配件，逐步实现了在多学科领域、纳米尺度下 对样品进行多种信号的测试，从而可以获得更全面的结构以及成分信息。以下是几种现在常 用的电镜中分析元素的方法。 1 X 射线能谱（Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS ） X 射线能谱是微区成分分析最为常用的一种方法，其物理基础是基于样品的特征X 射 线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时，会在内层电子处产生一个空缺，原子处 于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具 有一定能量的特征X 射线。 图1 EDS 原理示意图 特征X 射线是从试样0.5~5μm深处发出的，它的波长与原子序数之间满足莫塞莱定律： 1 = 2 ， 是常数 （ −